[发明专利]显示器装置中黏附铜互连的系统与方法

说明书

实施例大体上是关于形成在基板上的导电互连，且更特定而言是关于具有安置在其上的铜互连的玻璃、陶瓷或玻璃陶瓷基板。

相关申请的交叉引用

本申请案根据专利法主张2018年4月20日申请的美国临时申请案序列号第62/660677号和2019年2月25日申请的美国临时申请案序列号第62/809963号的优先权权益，其每一者的内容为本案的基础且是以全文引用方式并入本文中。

技术领域

本说明书是关于具有对铜的改良黏附的玻璃和/或陶瓷表面及制品。

背景技术

玻璃、陶瓷和玻璃陶瓷基板对许多应用而言合乎需要，包括用作显示器盖片(tile)、用作电接口的中介层、RF滤波器和/或RF开关。玻璃基板已变为用于这类应用的硅和纤维加强聚合物的吸引人的替代品。也就是说，用于形成互连的典型金属并不非常良好地黏附至玻璃基板。

因此，出于至少上文提及的原因，在这项技术中存在对用于将铜黏附至玻璃、陶瓷和玻璃陶瓷材料的先进系统和方法的需要。

发明内容

实施例大体上是关于基板和导电互连，且更特定而言是关于具有安置在其上的铜互连的玻璃、陶瓷或玻璃陶瓷基板。

此概要仅提供一些实施例的一般概述。短语“在一个实施例中”、“根据一个实施例”、“在各种实施例中”、“在一或多个实施例中”、“在特定实施例中”和类似短语大体上意指该短语后所跟的特定特征、结构或特性是包括在至少一个实施例中，且可包括在一个以上的实施例中。重要地，这类短语未必是指相同实施例。许多其他实施例将自以下详细描述、所附权利要求书和附图变得更完整清楚。

附图说明

可通过参考在说明书的剩余部分中描述的附图来实现对本发明的各种实施例的进一步理解。在附图中，相同的参考数字遍及若干附图用于指代类似的部件。在一些情况下，由小写字母组成的子标记与表示多个类似部件之一的参考数字相关联。当提及参考数字而不规定现有的子标记时，其意欲指代所有此类多个类似的部件。

图1为现有技术显示器的示意顶部透视图；

图2a至图2c展示根据一些实施例在应用用于在玻璃或玻璃陶瓷显示器基板上形成铜互连的各别工艺之后的临时显示器装置；

图3为展示根据各种实施例的用于在玻璃或玻璃陶瓷显示器基板上形成铜互连的方法的流程图；

图4a至图4d展示根据其他实施例的在应用用于在玻璃或玻璃陶瓷显示器基板上形成铜互连的各别工艺之后的临时显示器装置，这些工艺包括在基板的表面上扩展氧区域；

图5为展示根据各种实施例的用于在玻璃或玻璃陶瓷显示器基板上形成铜互连的方法的流程图，所述方法包括使用沥滤工艺在基板的表面上扩展氧区域；

图6为展示根据一些实施例的用于在玻璃或玻璃陶瓷显示器基板上形成铜互连的另一方法的流程图，所述方法包括使用蚀刻工艺在基板的表面上扩展氧区域；

图7a至图7d展示根据一些实施例的在应用用于在玻璃或玻璃陶瓷显示器基板上形成铜互连的各别工艺之后的临时显示器装置，该玻璃或玻璃陶瓷显示器基板包括安置在所述基板的表面上的终止层；

图8为展示根据一或多个实施例的用于在玻璃或玻璃陶瓷显示器基板上形成铜互连的方法的流程图，所述玻璃或玻璃陶瓷显示器基板包括处于所述基板的表面上的终止层；和

图9a至图9e展示根据各种实施例的在应用用于在玻璃或玻璃陶瓷显示器基板上形成铜互连的各别工艺之后的临时显示器装置，这些工艺包括在所述基板的表面上扩展氧区域和形成安置在所述基板的表面上的密封层。

具体实施方式

实施例大体上是关于形成在基板上的导电互连，且更特定而言是关于具有安置在其上的铜互连的玻璃、陶瓷或玻璃陶瓷基板。