[发明专利]取向性电磁钢板的制造设备

权利要求书

1.一种取向性电磁钢板的制造设备，具备：

传送机构，传送精退火后的取向性电磁钢板；

成膜设备，具有供所述传送的取向性电磁钢板通板的成膜室，在通过所述成膜室内的成膜区域的取向性电磁钢板的表面上在减压条件下进行成膜；

入侧减压设备，配置在所述成膜室的入侧，具有供所述成膜前的取向性电磁钢板通板的多级的入侧减压室，随着接近所述成膜室而所述入侧减压室的内压接近所述成膜室的内压；及

出侧减压设备，配置在所述成膜室的出侧，具有供所述成膜后的取向性电磁钢板通板的多级的出侧减压室，随着远离所述成膜室而所述出侧减压室的内压接近大气压，

所述入侧减压室及所述出侧减压室具备：

分隔板，界定各减压室，并形成有供取向性电磁钢板通板自如的形状的通板孔；及

密封垫，配置在所述分隔板的所述通板孔的上下侧。

2.根据权利要求1所述的取向性电磁钢板的制造设备，其中，

所述成膜设备通过CVD法或PVD法进行所述成膜。

3.根据权利要求1或2所述的取向性电磁钢板的制造设备，其中，

所述取向性电磁钢板的制造设备还具备冷却辊，该冷却辊配置在比所述成膜室内的所述成膜区域靠传送方向下游侧，并供所述成膜后的取向性电磁钢板通板。

4.根据权利要求3所述的取向性电磁钢板的制造设备，其中，

所述冷却辊为张紧辊。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的取向性电磁钢板的制造设备，其中，

所述取向性电磁钢板的制造设备还具备研磨设备，该研磨设备配置在比所述成膜室靠传送方向上游侧，并对所述传送的取向性电磁钢板的表面进行研磨。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的取向性电磁钢板的制造设备，其中，

所述取向性电磁钢板的制造设备还具备前处理设备，该前处理设备具有配置在所述入侧减压室与所述成膜室之间的前处理室，该前处理设备对于导入到所述前处理室的所述成膜前的取向性电磁钢板的表面实施除去杂质的前处理。

7.根据权利要求6所述的取向性电磁钢板的制造设备，其中，

所述取向性电磁钢板的制造设备设置有对所述前处理室与所述成膜室进行划分的分隔壁，

在所述分隔壁形成有供取向性电磁钢板通板自如的形状的分隔壁通板孔，

在所述分隔壁的所述分隔壁通板孔的上下侧配置有所述密封垫。