[发明专利]取向性电磁钢板的制造设备

说明书

在通过成膜室内的精退火后的取向性电磁钢板的表面上在减压条件下进行成膜。在上述成膜室的入侧配置的多级的入侧减压室随着接近上述成膜室而内压接近上述成膜室的内压。在上述成膜室的出侧配置的多级的出侧减压室随着远离上述成膜室而内压接近大气压。上述入侧减压室及上述出侧减压室具备：分隔板，界定各减压室，并形成有供取向性电磁钢板通板自如的形状的通板孔；及密封垫，配置在上述分隔板的上述通板孔的上下侧。由此，抑制精退火后的取向性电磁钢板的破损。

技术领域

本发明涉及取向性电磁钢板的制造设备。

背景技术

取向性电磁钢板是作为变压器及发电机等的铁心材料使用的软磁性材料。取向性电磁钢板的特征在于，具有铁的磁化容易轴即001方位在钢板的轧制方向上高度地一致的结晶组织。这样的集合组织在取向性电磁钢板的制造工序中，通过使称为所谓Goss方位的{110}001方位的结晶粒优先巨大生长的精退火来形成。作为取向性电磁钢板的产品的磁特性，要求磁通密度高且铁损低。

取向性电磁钢板的磁特性通过向钢板表面施加拉伸应力(张力)而变得良好。作为向钢板施加拉伸应力的现有技术，通常是在钢板表面形成厚度为2μm左右的镁橄榄石覆膜，在其上形成厚度为2μm左右的以硅磷酸盐为主体的覆膜的技术。

即，在高温下形成具有比钢板低的热膨胀率的硅磷酸盐覆膜，使其下降至室温，根据钢板与硅磷酸盐覆膜的热膨胀率之差向钢板施加拉伸应力。

该硅磷酸盐覆膜也作为取向性电磁钢板所需的绝缘覆膜发挥作用。即，通过绝缘，能防止钢板中的局部性的涡电流的产生。

通过化学研磨或电解研磨对精退火后的取向性电磁钢板的表面进行平滑化，然后，利用钢板上的覆膜施加拉伸应力，由此能够大幅地降低铁损。

然而，处于钢板与硅磷酸盐覆膜之间的镁橄榄石覆膜通过锚定效应而与钢板紧贴。因此，钢板表面的平滑度必然劣化。而且，硅磷酸盐与金属的紧贴性低，在表面进行了镜面化的钢板上无法直接成膜出硅磷酸盐覆膜。这样，在以往的取向性电磁钢板的覆膜构造(钢板/镁橄榄石覆膜/硅磷酸盐覆膜)中，不能对钢板的表面进行平滑化。

因此，在专利文献1中，为了维持钢板表面的平滑度并进而向钢板施加大的拉伸应力，在钢板上通过CVD法或PVD法成膜出由TiN等构成的陶瓷覆膜。该成膜在减压条件下在400℃以上的高温下进行。

专利文献2公开了用于进行这样的成膜的制造设备。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平01-176034号公报

专利文献2：日本特开昭62-040368号公报

发明内容

发明要解决的课题

对取向性电磁钢板(钢板)实施的精退火由于在高温下伴有长时间的热处理，因此通常作为将钢板以卷材单位进行退火的“批式退火”进行。

在批式退火中，通常将钢板卷材以使卷绕轴成为垂直方向的朝向载置于卷材承受台上，盖上罩，从外部对罩内部的钢板卷材进行加热，由此进行退火。

因此，存在批式退火过程中的钢板卷材的下侧(卷材承受台侧)部分因自重而压扁的情况。这样的话，经过了批式退火(精退火)的取向性电磁钢板在板宽方向上不是完全平坦，存在单侧产生起伏等变形的情况。

如果将这样变形的精退火后的取向性电磁钢板供于专利文献2的制造设备而要成膜，则有时会产生问题。

在此，专利文献2的制造设备具有成膜室(高真空处理槽)和在成膜室的入侧及出侧配置的多级的减压室(预备排气槽列)，但是多级的减压室由形成有通板孔的分隔板划分，在该通板孔设有夹送辊(参照专利文献2的第一图)。