[发明专利]检查三通阀装置是否存在泄漏的检查装置和检查方法

说明书

本发明是一种检查装置，其具有：检查台，其支承第1开口和第2开口被密封用零件密封的状态的三通阀装置；连通部，其设置成贯穿检查台，在三通阀装置支承于检查台的状态下，该连通部与第3开口气密地连通；包围体，其覆盖三通阀装置而形成除连通部以外的密闭空间；氦气供给路径，其经由连通部和第3开口向三通阀装置内供给氦气；检漏仪装置，其判定是否存在所述氦气向所述密闭空间内的泄漏；以及氦气吸排路径，其用于经由第3开口和连通部抽吸并排出氦气。氦气吸排路径将压缩空气路径的一部分与连通孔连通，利用压缩空气的流动作为吸引力来将三通阀装置内的氦气引入压缩空气路径。

技术领域

本发明涉及检查三通阀装置是否存在泄漏的检查装置。此外，本发明涉及检查三通阀装置是否存在泄漏的检查方法。

背景技术

各种三通阀装置用于多个用途。例如，在本申请人的日本特许第6104443号公报中，公开了能够高精度地控制两种流体的混合比的流量控制用三通阀。

图11是该流量控制用三通阀的外观立体图，图12是该流量控制用三通阀的纵剖视图，图13是该流量控制用三通阀的分解立体图。

如图11所示，流量控制用三通阀1由配置在下部的阀部2、配置在上部的致动器部3、配置在阀部2与致动器部3之间的密封部4和联结部5构成。

如图12和图13所示，阀部2具有由SUS等金属形成为大致长方体状的阀主体6。

在阀主体6的左侧面分别开设有供第1流体(例如低温侧流体)流入的第1开口7和截面为矩形的第1阀口9，该第1阀口9与圆柱形状的阀座8连通。

并且，在阀主体6的左侧面借助四根内六角螺栓11安装有第1凸缘部件10，该第1凸缘部件10用于与使第1流体(例如低温侧流体)流入的配管连接。与阀主体6同样，第1凸缘部件10由SUS等金属形成。

第1凸缘部件10具有：凸缘部12，其形成为与阀主体6的侧面形状相同的形状即矩形；插入部13，其呈薄壁的圆筒形状地突出设置于凸缘部12的内侧面；以及配管连接部14，其呈厚壁的圆筒形状地突出设置于凸缘部12的外侧面。

在阀主体6的第1开口7的外侧内周端实施了倒角16，该倒角16用于在与第1凸缘部件10的凸缘部12之间安装O形环15。

另一方面，在阀主体6的右侧面分别开设有供第2流体(例如高温侧流体)流入的第2开口17、以及与圆柱形状的阀座8连通的截面矩形的第2阀口18。

并且，在阀主体6的右侧面借助四根内六角螺栓20安装有第2凸缘部件19，该第2凸缘部件19用于与使第2流体(例如高温侧流体)流入的配管连接。与第1凸缘部件10同样地，第2凸缘部件19由SUS等金属形成。

第2凸缘部件19具有：凸缘部21，其形成为与阀主体6的侧面形状相同的形状即矩形；插入部22，其呈薄壁的圆筒形状地突出设置于凸缘部21的内侧面；以及配管连接部23，其呈厚壁的大致圆筒形状地突出设置于凸缘部21的外侧面。

在阀主体6的第2开口17的外侧内周端实施了倒角25，该倒角25用于在与第2凸缘部件19的凸缘部21之间安装O形环24。

此外，在阀主体6的下端面开设有第3开口26，该第3开口26供将第1流体(例如低温侧流体)与第2流体(例如高温侧流体)混合得到的第3流体(例如温度控制流体)流出。

并且，在阀主体6的下端面借助四根内六角螺栓28安装有第3凸缘部件27，该第3凸缘部件27用于与使第3流体(例如温度控制流体)流出的配管连接。与第1凸缘部件10和第2凸缘部件19同样，第3凸缘部件27由SUS等金属形成。

第3凸缘部件27具有：凸缘部29，其形成为比阀主体6的下端面形状小的俯视矩形状；插入部30，其呈薄壁的圆筒形状地突出设置于凸缘部29的上端面；以及配管连接部31，其呈厚壁的大致圆筒形状地突出设置在凸缘部29的下端面。