[发明专利]检查三通阀装置是否存在泄漏的检查装置和检查方法

权利要求书

1.一种检查装置，其检查具有第1开口、第2开口和第3开口的三通阀装置是否存在泄漏，其特征在于，所述检查装置具有：

密封用零件，其用于气密地密封所述第1开口和所述第2开口各自的开口；

检查台，其支承所述第1开口和所述第2开口被所述密封用零件密封的状态的所述三通阀装置；

连通部，其设置成贯穿所述检查台，在所述三通阀装置支承于所述检查台的状态下，所述连通部与所述第3开口气密地连通；

包围体，其在所述三通阀装置支承于所述检查台的状态下，覆盖所述三通阀装置而形成除所述连通部以外的密闭空间；

氦气供给路径，其在通过所述包围体形成了所述密闭空间的状态下，经由所述连通部和所述第3开口向所述三通阀装置内供给氦气；

检漏仪装置，其在向所述三通阀装置内供给所述氦气之后，判定是否存在所述氦气向所述密闭空间内的泄漏；以及

氦气吸排路径，其用于在判定出是否存在所述氦气向所述密闭空间内的泄漏之后，经由所述第3开口和所述连通部抽吸并排出被供给到所述三通阀装置内的所述氦气，

所述氦气吸排路径具有：

压缩空气路径，在至少判定出是否存在所述氦气向所述密闭空间内的泄漏之后，使压缩空气在所述压缩空气路径中流通；以及

气体引入路径，其将所述压缩空气路径的一部分与所述连通部连通，利用所述压缩空气的流动作为吸引力来将所述三通阀装置内的所述氦气引入所述压缩空气路径。

2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，

所述包围体能够在形成所述密闭空间的位置与开放所述密闭空间的位置之间移动。

3.根据权利要求2所述的检查装置，其特征在于，

在所述氦气供给路径中设置有氦气供给控制阀，该氦气供给控制阀对所述氦气经由所述连通部和所述第3开口向所述三通阀装置内的供给的开始/停止进行控制，

在所述压缩空气路径中设置有压缩空气流通控制阀，该压缩空气流通控制阀对该压缩空气路径中的所述压缩空气的流通的开始/停止进行控制，

在所述气体引入路径中设置有气体引入控制阀，该气体引入控制阀对所述压缩空气路径的一部分与所述连通部的连通的开始/停止进行控制。

4.根据权利要求3所述的检查装置，其特征在于，

通过控制装置自动地控制所述包围体的移动、所述氦气供给控制阀的动作、所述压缩空气流通控制阀的动作和所述气体引入控制阀的动作。

5.一种检查方法，检查具有第1开口、第2开口和第3开口的三通阀装置是否存在泄漏，其特征在于，所述检查方法具有以下工序：

气密地密封所述第1开口和所述第2开口各自的开口；

使所述第3开口与检查台的连通部气密地连通，并且通过该检查台支承所述第1开口和所述第2开口被密封的所述三通阀装置；

在所述三通阀装置支承于所述检查台的状态下，通过包围体覆盖所述三通阀装置而形成除所述连通部以外的密闭空间；

在形成了所述密闭空间的状态下，经由所述连通部和所述第3开口向所述三通阀装置内供给氦气；

在向所述三通阀装置内供给所述氦气之后，判定是否存在所述氦气向所述密闭空间内的泄漏；以及

在判定出是否存在所述氦气向所述密闭空间内的泄漏之后，经由所述第3开口和所述连通部抽吸并排出被供给到所述三通阀装置内的所述氦气；

抽吸并排出所述氦气的工序具有以下工序：

使压缩空气在压缩空气路径中流通；以及

将所述压缩空气路径的一部分与所述连通部连通，利用所述压缩空气的流动作为吸引力来将所述三通阀装置内的所述氦气引入所述压缩空气路径。

6.根据权利要求5所述的检查方法，其特征在于，还具有以下工序：

在抽吸并排出所述氦气的工序之后，所述包围体移动而开放所述密闭空间。