[发明专利]偏心测定装置及方法

说明书

本发明提供一种能够准确地测定透镜的实际的曲率中心位置相对于被测定光学面的设计上的曲率中心位置的偏心量的偏心测定装置及方法。将具有低相干性的测定光经由扫描镜(44)及物镜(46)入射到组合透镜(10)。物镜(46)将测定光汇聚到组合透镜(10)的被测定光学面的设计上的曲率中心位置所在的扫描面上，扫描镜(44)使测定光的汇聚位置在扫描面上移动。光路长度调整部(35)根据被测定光学面的位置调整具有低相干性的参考光的光路长度。平衡检波器(37)从在组合透镜(10)的光学面反射的测定光和参考光的合波光检测在被测定光学面反射的测定光和参考光的干涉光。根据平衡检波器(37)的检测输出和扫描镜(44)的扫描信息测定被测定光学面的偏心量。

技术领域

本发明涉及一种偏心测定装置及方法，尤其涉及一种能够测定透镜的实际的曲率中心位置相对于被测定光学面的设计上的曲率中心位置的偏心量的技术。

背景技术

以往，作为这种偏心测定装置，已知有专利文献1～3中所记载的偏心测定装置。

专利文献1中所记载的偏心测量仪利用使垂直光束入射到成为透镜的测定对象的被试透镜面(被测定光学面)，并使其反射光束沿与入射光束相反的方向返回，根据该光束在位置传感器上的成像位置的偏转量进行偏心测定的方法(以下，将该方法称为“自动准直法”)，尤其为了能够进行透镜的第1面和第2面的曲率中心相同的特殊的弯月形透镜的偏心测定，使照射光汇聚在从第1面的曲率中心向光轴方向偏离的位置，使在第1面反射的光束和在第2面反射的光束在不同的光路上行进。并且，从第1面(被测定光学面)反射并返回的光束在位置传感器上成像成点像，从第2面反射并返回的光束在位置传感器上成像成模糊图像，由此，使得能够区分是在哪个面反射的光束。

专利文献2中所记载的干涉测量仪由包括使光束穿过放置在干涉仪光路中的透镜而获得的i面(特定的被测定光学面)的光路的干涉条纹和与通过计算求出的偏心相关的数据来求出透镜的i面的偏心。

专利文献3中所记载的透镜形状测定装置具有选择性地切换并射出可干涉光和低相干光的光源部，当切换成可干涉光时，通过参考透镜将成为可干涉光的测定光束汇聚在被测透镜的被测面的曲率中心并照射到被测透镜的被测面，并且使来自被测透镜的反射光束和在参考透镜的光学面反射的测定光束(参考光束)干涉来获得干涉条纹图像。并且，通过图像处理来获得所获得的干涉条纹图像的张数和干涉条纹图像的相位的变化，从而求出测定光束的汇聚位置与被测面的顶部的位置关系、或汇聚位置与被测面的曲率中心的位置关系及被测面相对于测定光学系统的测定光轴的偏心量。由此，求出用于进行包括参考透镜的测定光学系统的测定光轴与被测面的光轴对准的测定光学系统的驱动量和用于使汇聚位置与被测面的顶部或曲率中心一致的测定光学系统的驱动量，并通过这些驱动量来驱动测定光学系统，对被测透镜的被测面进行测定光学系统的对位。专利文献3中所记载的透镜形状测定装置在测定光学系统与被测透镜的被测面的对位结束时，从可干涉光切换成低相干光，进行被测透镜的壁厚、表面粗糙度、面精度等透镜形状的测定。

以往技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平4-106447号公报

专利文献2：日本特开2001-147174号公报

专利文献3：日本特开2014-002026号公报

发明内容

发明要解决的技术课题

专利文献1中所记载的偏心测量仪有如下问题：使照射光的集光点从被测定光学面的曲率中心向光轴方向偏离，因此测定被测定光学面的偏心量时产生误差。

专利文献2中所记载的干涉测量仪有如下问题：若透镜的被测定光学面的偏心量大，则干涉条纹的密度增加，并且变得难以分析干涉条纹。