[发明专利]偏心测定装置及方法

权利要求书

1.一种偏心测定装置，其测定透镜的被测定光学面的偏心量，所述偏心测定装置具备：

光源，射出测定光；

测定光学系统，汇聚所述测定光，且具有第1光学系统和使所述测定光的光路弯曲的弯曲部；

扫描控制部，使用所述弯曲部改变所述测定光的光路的弯曲角度，并扫描所述测定光的汇聚位置；

检测部，检测在所述被测定光学面反射的测定光即反射测定光的强度信息；及

测定部，测定所述被测定光学面的偏心量，

所述检测部在通过所述扫描控制部改变所述弯曲角度时检测多个所述弯曲角度的每一个的所述强度信息，

所述测定部根据多个所述弯曲角度的每一个的所述强度信息及所述弯曲部的弯曲角度信息来测定所述被测定光学面的偏心量。

2.根据权利要求1所述的偏心测定装置，其中，

所述第1光学系统的焦点距离是可变的，

通过改变所述第1光学系统的焦点距离来改变所述测定光的所述汇聚位置。

3.根据权利要求1所述的偏心测定装置，其中，

所述第1光学系统具有第1透镜，

所述第1透镜的焦点距离通过电控制来改变所述第1透镜本身的焦点距离，

通过改变所述第1透镜的焦点距离来改变所述测定光的所述汇聚位置。

4.根据权利要求2或3所述的偏心测定装置，其中，

所述测定光学系统具有改变所述第1光学系统的屈光力的最大值及所述第1光学系统的屈光力的最小值的第2光学系统。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的偏心测定装置，其中，

从所述光源射出的所述测定光经由所述弯曲部入射到所述第1光学系统。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的偏心测定装置，其中，

从所述光源射出的所述测定光经由所述第1光学系统入射到所述弯曲部。

7.根据权利要求1至3中任一项所述的偏心测定装置，其具有使所述测定光成为平行光的准直透镜，

从所述光源射出的所述测定光经由所述准直透镜入射到所述第1光学系统。

8.根据权利要求1至3中任一项所述的偏心测定装置，其具备将所述测定光的光路和所述反射测定光的光路分开的第1分波部，

所述检测部检测在所述第1分波部射出的所述反射测定光。

9.根据权利要求1至3中任一项所述的偏心测定装置，其中，

所述检测部检测所述反射测定光的光量作为所述强度信息，

所述测定部使用所述反射测定光的所述光量取最大值时的所述弯曲角度信息来测定所述被测定光学面的偏心量。

10.根据权利要求1至3中任一项所述的偏心测定装置，其具备：

第2分波部，将参考光从所述测定光分波；及

合波部，对所述反射测定光和所述参考光进行合波，

所述光源为射出低相干光作为所述测定光的低相干光源，

所述检测部检测通过所述合波部合波的合波光的光量作为所述强度信息。

11.根据权利要求1至3中任一项所述的偏心测定装置，其具备：

第2分波部，将参考光从所述测定光分波；及

合波部，对所述反射测定光和所述参考光进行合波，

所述光源为射出低相干光作为所述测定光的低相干光源，

所述检测部检测通过所述合波部合波的合波光的光量的分布作为所述强度信息。

12.根据权利要求10所述的偏心测定装置，其具备光路长度调整部，所述光路长度调整部调整通过所述合波部合波之前的所述反射测定光及所述参考光中的一者的光路长度。