[发明专利]感光性树脂组合物、干膜、固化物、印刷电路板及半导体元件在审
| 申请号： | 201980016724.6 | 申请日： | 2019-03-14 |
| 公开（公告）号： | CN111819493A | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 本松让;秋元真步 | 申请（专利权）人： | 太阳控股株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;G03F7/023;G03F7/20;H05K3/28 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 感光性 树脂 组合 固化 印刷 电路板 半导体 元件 | ||
1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，包含：(A)碱溶性树脂、(B)光敏剂、和(C)包含100～10000个通式(1)所示的聚合单元的聚醚化合物，
通式(1)中，X表示碳数1～10的亚烷基。
2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述(C)聚醚化合物还包含1～1000个通式(2)所示的聚合单元，
通式(2)中，Y表示碳数1～10的亚烷基，其中，不包括与通式(1)中的X相同的情况。
3.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述(C)聚醚化合物还包含1～1000个通式(3)所示的聚合单元，
通式(3)中，Z表示侧链具有反应性官能团或苯基的碳数1～10的亚烷基。
4.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，包含聚苯并噁唑前体作为所述(A)碱溶性树脂。
5.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其特征在于，包含萘醌二叠氮化合物作为所述(B)光敏剂。
6.一种干膜，其特征在于，具有树脂层，所述树脂层是将权利要求1所述的感光性树脂组合物涂布于薄膜并进行干燥而得到的。
7.一种固化物，其特征在于，其是将权利要求1～5中任一项所述的感光性树脂组合物或权利要求6所述的干膜的树脂层固化而得到的。
8.一种印刷电路板，其特征在于，具有权利要求7所述的固化物。
9.一种半导体元件，其特征在于，具有权利要求7所述的固化物。
10.一种电子部件，其特征在于，具有权利要求7所述的固化物。
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