[发明专利]振动器件及压电元件有效
申请号: | 201980015429.9 | 申请日: | 2019-02-21 |
公开(公告)号: | CN111770797B | 公开(公告)日: | 2022-06-14 |
发明(设计)人: | 太田佳生;坂本英也;立本一志;志村寿一;谷口彻行;武田明丈 | 申请(专利权)人: | TDK株式会社 |
主分类号: | B06B1/06 | 分类号: | B06B1/06;H01L41/047;H01L41/083;H01L41/09 |
代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人: | 杨琦;黄浩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 振动 器件 压电 元件 | ||
本发明的振动器件(1)具备:双压电晶片型的压电元件(10),其具有相互相对的第一主面(11a)及第二主面(11b);振动部件(60),其与压电元件(10)的第二主面(11b)接合。压电元件(10)具有在第一及第二主面(11a)、(11b)之间靠第一主面(11a)配置的第一活性区域(19)和在第一及第二主面(11a)、(11b)之间配置于比第一活性区域(19)更靠第二主面(11b)的第二活性区域(20)。在第一活性区域(19)产生的力是(F1),在第二活性区域(20)产生的力是(F2),振动部件(60)约束第二活性区域(20)的力是(Fr)的情况下,满足F2-F1≧Fr。
技术领域
本发明涉及一种振动器件及压电元件。
背景技术
已知一种具有第一活性区域和第二活性区域的压电元件(例如,专利文献1)。压电元件具有相互相对的第一主面及第二主面。第一活性区域在第一及第二主面之间配置于第一主面侧。第二活性区域配置于第二主面侧。压电元件例如是在施加电场时第一活性区域及第二性区域沿相反的方向伸缩的双压电晶片型压电元件。
现有技术文献
专利文献
专利文献1:日本特开平02-138781号公报
发明内容
发明所要解决的问题
所述双压电晶片型压电元件由于第一及第二活性区域向彼此相反的方向伸缩而弯曲。但是,例如,在通过在该双压电晶片型压电元件的第二主面上接合振动部件来构成振动器件的情况下,配置于第二主面侧的第二活性区域被振动部件约束。因此,在压电元件中产生的弯曲显著降低。在该情况下,在整个压电元件中产生的能量难以传递到振动部件,作为振动器件难以得到所希望的振动量。
本发明一方案的目的在于提供一种能够高效地确保所希望的振动量的振动器件及用于该振动器件的压电元件。
用于解决问题的技术方案
本发明的一方案的振动器件具备双压电晶片型的压电元件和振动部件。压电元件具有相互相对的第一主面及第二主面。压电元件具有第一活性区域和第二活性区域。第一活性区域在该第一及第二主面之间配置于第一主面侧。第二活性区域在该第一及第二主面之间配置于比第一活性区域更靠第二主面侧。振动部件与压电元件的第二主面接合。在将在第一活性区域产生的力设为F1,将在第二活性区域产生的力设为F2,将振动部件约束第二活性区域的力设为Fr的情况下,满足F2-F1≧Fr。
在本发明的上述一方案的振动器件中,从在第二活性区域产生的力F2减去在第一活性区域产生的力F1的值为振动部件约束第二活性区域的力Fr以上。因此,即使振动部件与压电元件接合,比第一活性区域靠近振动部件的第二活性区域产生在第一活性区域产生的力以上的力。其结果,由整个压电元件产生的能量能够高效地传递到振动部件。因此,在该振动器件中,能够高效地确保所希望的振动量。
本发明的一方案的压电元件是双压电晶片型的压电元件。压电元件具有相互相对的第一主面及第二主面。压电元件通过将第二主面与振动部件接合而构成振动器件。压电元件具备第一活性区域、第二活性区域、第一内部电极以及第二内部电极。第一活性区域在第一及第二主面之间配置于第一主面侧。第二活性区域在第一及第二主面之间配置于比第一活性区域更靠第二主面侧。第一内部电极对第一活性区域施加电场。第二内部电极对第二活性区域施加电场。第一活性区域及第二活性区域分别由至少一个压电体层构成。在将第一活性区域的位移量设为X1,将第二活性区域的位移量设为X2的情况下,满足X1<X2。
在本发明的上述一方案的压电元件中,第二活性区域的位移量X2大于第一活性区域的位移量X1。例如,在振动部件与压电元件的第二主面接合的情况下,所述第二活性区域位于比第一活性区域更靠近振动部件。因此,由整个压电元件产生的能量能够高效地传递到振动部件。
发明效果
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