[发明专利]振动器件及压电元件

权利要求书

1.一种振动器件，其具备：

双压电晶片型的压电元件，其具有相互相对的第一主面及第二主面；

振动部件，其与所述压电元件的所述第二主面接合，

所述压电元件具有第一活性区域和第二活性区域，所述第一活性区域在所述第一及第二主面之间靠所述第一主面配置，所述第二活性区域在所述第一及第二主面之间配置于比所述第一活性区域更靠所述第二主面，所述第二活性区域与所述第一活性区域向相反方向位移，

第一内部电极，其对所述第一活性区域施加电场；

第二内部电极，其对所述第二活性区域施加电场；以及

第一连接导体和第二连接导体中的至少一个，所述第一连接导体电连接于所述第一内部电极，与所述第二内部电极分开并与所述第二内部电极位于相同层，并且，从与所述第一主面正交的方向看配置于与所述第一内部电极重叠的位置；所述第二连接导体电连接于所述第二内部电极，与所述第一内部电极分开并与所述第一内部电极位于相同层，并且，从与所述第一主面正交的方向看配置于与所述第二内部电极重叠的位置，

在所述第一活性区域产生的力是F1，在所述第二活性区域产生的力是F2，所述振动部件约束所述第二活性区域的力是Fr的情况下，

满足F2－F1≧Fr。

2.一种双压电晶片型的压电元件，其具有相互相对的第一主面及第二主面，并且通过所述第二主面与振动部件接合而构成振动器件，其中，具备：

第一活性区域，其在所述第一及第二主面之间配置于所述第一主面侧；

第二活性区域，其在所述第一及第二主面之间配置于比所述第一活性区域更靠所述第二主面侧，所述第二活性区域与所述第一活性区域向相反方向位移；

第一内部电极，其对所述第一活性区域施加电场；

第二内部电极，其对所述第二活性区域施加电场；以及

第一连接导体和第二连接导体中的至少一个，所述第一连接导体电连接于所述第一内部电极，与所述第二内部电极分开并与所述第二内部电极位于相同层，并且，从与所述第一主面正交的方向看配置于与所述第一内部电极重叠的位置；所述第二连接导体电连接于所述第二内部电极，与所述第一内部电极分开并与所述第一内部电极位于相同层，并且，从与所述第一主面正交的方向看配置于与所述第二内部电极重叠的位置，

所述第一活性区域及所述第二活性区域分别包括至少一个压电体层，

在所述第一活性区域的位移量是X1，所述第二活性区域的位移量是X2的情况下，

满足X1＜X2。

3.根据权利要求2所述的压电元件，其中，

在构成所述第一活性区域的所述压电体层的层数是N1，构成所述第二活性区域的所述压电体层的层数是N2的情况下，

满足N1＜N2。

4.根据权利要求2或3所述的压电元件，其中，

在构成所述第一活性区域的所述压电体层各自的厚度是T1，构成所述第二活性区域的所述压电体层各自的厚度是T2的情况下，

满足T1＞T2。

5.根据权利要求2～4中任一项所述的压电元件，其中，

所述第二内部电极的覆盖率小于所述第一内部电极的覆盖率。

6.根据权利要求2～5中任一项所述的压电元件，其中，

在所述第一内部电极的厚度是L1，所述第二内部电极的厚度是L2的情况下，

满足L1＞L2。