[发明专利]投影掩模及激光照射装置

权利要求书

1.一种投影掩模，其配置于被照射激光的投影透镜，并使所述激光透过，其中，所述投影掩模具备：

透过层，其供所述激光透过；

反射膜，其折射率比所述透过层大；

金属膜，其对所述激光进行遮光；以及

保护膜，其保护所述金属膜，

所述透过层、所述反射膜、所述金属膜、以及所述保护膜从相互的层叠方向中的、被照射所述激光的一侧朝向相反侧依次配置。

2.一种激光照射装置，其特征在于，具备：

光源，其产生激光；以及

投影透镜，其向附着于薄膜晶体管的非晶硅薄膜的规定的区域照射所述激光，

在所述投影透镜配置有权利要求1所述的投影掩模。