[发明专利]基板搬运装置以及基板搬运方法

权利要求书

1.一种基板搬运装置，其在规定位置交接基板，其特征在于，

具备：

保持基板的保持部；

使所述保持部相对于所述规定位置进行往复移动的往复机构；

光学传感器，其在通过所述往复机构使所述保持部移动的路径上形成传感器区；以及

控制部，其在包括通过所述往复机构使所述保持部趋向所述规定位置的前往动作、和使所述保持部远离所述规定位置的返回动作在内的基板的交付动作中检测第1通过期间，在该第1通过期间与预先设定的第1正常期间不同时判断为搬运异常，所述第1通过期间为所述保持部或者由该保持部保持的基板即保持基板从所述传感器区通过的期间。

2.根据权利要求1所述的基板搬运装置，其特征在于，

所述规定位置为收纳基板的基板收纳容器内的位置，所述光学传感器在所述基板收纳容器外形成所述传感器区。

3.根据权利要求2所述的基板搬运装置，其特征在于，

所述光学传感器的所述传感器区被设定在对以向所述基板收纳容器外偏移的状态载置的基板进行检测的位置。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，

所述保持部具有：与基板的一端部抵接的抵接部；能够伸缩的防止位置偏移机构，其以将基板的另一端部朝向所述抵接部按压的方式伸展来固定所述基板；以及检测所述防止位置偏移机构的伸缩动作的伸缩检测部，

所述防止位置偏移机构在所述前往移动中固定基板，在所述返回移动中解除基板的固定，

所述伸缩检测部在所述防止位置偏移机构固定了基板的状态下检测所述防止位置偏移机构的伸展，在所述防止位置偏移机构解除了基板的固定的状态下检测所述防止位置偏移机构的收缩。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，

所述保持部为在水平方向上平坦的板状部件，在俯视时，所述板状部件具有在保持了基板时与基板重叠的部分的至少一部分被去掉的中缺区域，在所述保持部正常保持基板时，在俯视时基板与所述板状部件的所述中缺区域全部重叠，

在通过所述往复机构使所述保持部往复移动时，所述保持部的所述中缺区域从所述路径通过。

6.根据权利要求1～5中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，

所述光学传感器为形成沿着光轴的直线上的所述传感器区的透射型传感器，

所述控制部将由所述透射型传感器投射的光线被所述保持部或者所述保持基板遮挡的期间检测为所述第1通过期间。

7.根据权利要求1～5中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，

所述光学传感器为利用光线形成所述传感器区的反射型传感器，

所述控制部将通过所述反射型传感器投射的光线被所述保持部或者所述保持基板反射且被该反射型传感器接受的期间检测为所述第1通过期间。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，

所述控制部在通过所述保持部接受位于所述规定位置的基板的基板的接受动作时，对搬运异常进行判断，

所述基板的接受动作包括通过所述往复机构而使所述保持部趋向所述规定位置移动的前往动作、和通过所述往复机构使所述保持部远离所述规定位置的返回动作，

所述控制部在所述基板的接受动作中检测第2通过期间，在该第2通过期间与预先设定的第2正常期间不同时判断为搬运异常，所述第2通过期间为所述保持部或者所述保持基板从所述传感器区通过的期间。

9.根据权利要求8所述的基板搬运装置，其特征在于，

所述第1正常期间和所述第2正常期间为相同长度。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的基板搬运装置，其特征在于，

所述控制部根据基于所述往复机构的所述保持部的移动速度，设定所述第1正常期间或者所述第2正常期间。