[发明专利]受引导的图案化装置的检查

权利要求书

1.一种用于图案化装置的检查的方法，所述方法包括：

获取(i)图案化装置制造工艺的图案化装置设备数据，(ii)基于所述图案化装置设备数据的图案化装置衬底图，以及(iii)基于所述图案化装置衬底图的、与所述图案化装置相对应的经预测的工艺窗口限制的图案位置；以及

由硬件计算机系统基于所述工艺窗口限制的图案位置，将图案化装置检查设备引导到所述工艺窗口限制的图案位置以进行缺陷检查。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述图案化装置设备数据包括衬底高度图、光束方向、强度或焦距。

3.根据权利要求2所述的方法，其中所述图案化装置衬底图通过建模或模拟来标识所述光束方向、所述高度图、所述强度或所述焦距对所述图案化装置图案的贡献。

4.根据权利要求1所述的方法，其中所述经预测的工艺窗口限制的图案位置是通过对所述图案化装置衬底图的图案保真度分析进行模拟或建模来确定的。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述图案保真度分析包括标识所述图案化装置内的、具有与所述图案化装置图案有关的相对较高的边缘位置误差的位置。

6.根据权利要求1所述的方法，其中引导所述图案化装置检查设备包括：由所述硬件计算机系统生成信号，以在所述图案化装置检查设备保持静止的同时、相对于所述图案化装置检查设备移动所述图案化装置设备的图案化装置支撑件，以使得能够在与所述图案化装置相对应的所述工艺窗口限制的图案位置处进行测量。

7.根据权利要求1所述的方法，其中引导所述图案化装置检查设备包括：由所述硬件计算机系统生成信号，以在所述图案化装置保持静止的同时、相对于所述图案化装置移动所述图案化装置检查设备，以使得能够在与所述图案化装置相对应的所述工艺窗口限制的图案位置处进行测量。

8.根据权利要求6所述的方法，其中引导所述图案化装置检查设备还包括：由所述硬件计算机系统生成信号，以调节所述检查设备的光学系统，从而将照射光束定向到与所述图案化装置相对应的所述工艺窗口限制的图案位置。

9.一种用于图案化装置的检查的系统，所述系统包括：

图案化装置设备，用于制造所述图案化装置；

图案化装置检查设备，被配置为与所述图案化装置设备进行通信；

处理器，被配置为：

获取(i)图案化装置设备数据、(ii)基于所述图案化装置设备数据的图案化装置衬底图，以及(iii)基于所述图案化装置衬底图的、与所述图案化装置相对应的经预测的工艺窗口限制的图案位置；以及

基于所述工艺窗口限制的图案位置，将图案化装置检查设备引导到所述工艺窗口限制的图案位置以进行缺陷检查。

10.根据权利要求9所述的系统，其中所述经预测的工艺窗口限制的图案位置是通过对所述图案化装置衬底图的图案保真度分析进行模拟或建模来确定的。

11.根据权利要求9所述的系统，其中所述图案保真度分析包括：标识所述图案化装置内的、具有与所述图案化装置图案有关的相对较高的边缘位置误差的位置。

12.根据权利要求9所述的系统，其中所述处理器还被配置为：生成信号，以在所述图案化装置检查设备保持静止的同时、相对于所述图案化装置检查设备移动所述图案化装置设备的图案化装置支撑件，以使得能够在与所述图案化装置相对应的所述工艺窗口限制的图案位置处进行测量。

13.根据权利要求9所述的系统，其中所述处理器还被配置为：生成信号，以在所述图案化装置保持静止的同时、相对于所述图案化装置移动所述图案化装置检查设备，以使得能够在与所述图案化装置相对应的所述工艺窗口限制的图案位置处进行测量。