[发明专利]熔融球状二氧化硅粉末及其制造方法

权利要求书

1.一种熔融球状二氧化硅粉末，其特征在于，

在通过激光衍射进行测定时，累积体积95％粒径d95在5μm～14.9μm的范围，

将该熔融球状二氧化硅粉末与环氧树脂按质量比1∶1进行混炼，对固化后的固化体的一部分进行研磨，在对露出的二氧化硅截面以1000倍进行显微镜观察时能检测到的最长径5μm以上的气泡的数量是每10cm²所述固化体研磨面为50个以下。

2.根据权利要求1所述的熔融球状二氧化硅粉末，其中，

粒子表面经硅烷化合物处理。

3.根据权利要求1所述的熔融球状二氧化硅粉末，其中，

BET比表面积在1.0m²/g～5.0m²/g的范围。

4.根据权利要求2所述的熔融球状二氧化硅粉末，其中，

BET比表面积在1.0m²/g～5.0m²/g的范围。

5.根据权利要求1所述的熔融球状二氧化硅粉末，其中，

所述熔融球状二氧化硅粉末用于液态半导体封装材料的填充材料。

6.根据权利要求2所述的熔融球状二氧化硅粉末，其中，

所述熔融球状二氧化硅粉末用于液态半导体封装材料的填充材料。

7.根据权利要求3所述的熔融球状二氧化硅粉末，其中，

所述熔融球状二氧化硅粉末用于液态半导体封装材料的填充材料。

8.一种权利要求1所述的熔融球状二氧化硅粉末的制造方法，其特征在于，

使用多层管燃烧器，将按照利用甲醇滴定法得到的疏水化度为25体积％以上的方式疏水化处理的气相二氧化硅，以所述气相二氧化硅的比例成为0.3kg/Nm³～3kg/Nm³的方式，伴随氧气或含氧气体从所述多层管燃烧器的中心管供给，

在火焰内于1400℃～1700℃使其熔融、球状化后，

使用旋风分离器回收平均粒径0.01μm～1000μm的粒子，接着，使用筛和/或风力分级机在分级点8μm～100μm进行分级，回收其细粒侧，

所述疏水化度为M值。

9.一种权利要求3所述的熔融球状二氧化硅粉末的制造方法，其特征在于，

使用多层管燃烧器，将按照利用甲醇滴定法得到的疏水化度为25体积％以上的方式疏水化处理的气相二氧化硅，以所述气相二氧化硅的比例成为0.3kg/Nm³～3kg/Nm³的方式，伴随氧气或含氧气体从所述多层管燃烧器的中心管供给，

在火焰内于1400℃～1700℃使其熔融、球状化后，

使用旋风分离器回收平均粒径0.01μm～1000μm的粒子，接着，使用筛和/或风力分级机在分级点8μm～100μm进行分级，回收其细粒侧，

所述疏水化度为M值。