[发明专利]抗蚀剂组合物和抗蚀剂膜有效
| 申请号： | 201980007547.5 | 申请日： | 2019-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN111587402B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 星野学 | 申请（专利权）人： | 日本瑞翁株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/039 | 分类号： | G03F7/039;C08F12/06;G03F7/004;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 杨卫萍;刘继富 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 组合 抗蚀剂膜 | ||
【权利要求书】：
1.一种抗蚀剂组合物，其包含聚合物、溶剂和芳香族乙烯基单体，
所述芳香族乙烯基单体相对于所述聚合物的含量为10质量ppm以上且小于30000质量ppm。
2.根据权利要求1所述的抗蚀剂组合物，其中，所述芳香族乙烯基单体为α-甲基苯乙烯衍生物。
3.根据权利要求1或2所述的抗蚀剂组合物，其进一步包含α-卤代(甲基)丙烯酸酯单体，
所述α-卤代(甲基)丙烯酸酯单体相对于所述聚合物的含量为5质量ppm以上且2000质量ppm以下。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的抗蚀剂组合物，其中，所述聚合物具有α-甲基苯乙烯单体单元和α-氯代丙烯酸甲酯单体单元。
5.一种抗蚀剂膜，其是使用权利要求1～4中任一项所述的抗蚀剂组合物在基材上形成的。
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