[发明专利]一种巨量转移装置及方法

说明书

本发明公开了一种巨量转移装置及方法，所述巨量转移装置包括：壳体、设置在所述壳体内的滑板；所述壳体背面设置有用于吸附微元件的吸附孔，所述壳体正面设置有真空孔，所述滑板上设置有第一通孔，所述滑板可在所述壳体内滑动并通过所述第一通孔连通或断开所述吸附孔和所述真空孔。通过控制滑板滑动第一距离并连通对应的真空孔和吸附孔，即可进行巨量转移；控制滑板滑动第二距离并连通对应的真空孔和吸附孔，也可以进行巨量转移；其中，滑板滑动第二距离时连通的真空孔和吸附孔与滑板滑动第一距离时连通的真空孔和吸附孔不同。也就是说，通过控制滑板的滑动距离可以选择性连通真空孔和吸附孔。

技术领域

本发明涉及巨量转移技术领域，尤其涉及的是一种巨量转移装置及方法。

背景技术

巨量转移装置应用于大量微元件(如Micro-LED)的转移，由于Micro-LED等微元件是分为R、G、B三色Micro-LED的，现有技术中的巨量转移装置通产采用的是全取、全转移的方式，无法选择性转移某一部分微元件。

因此，现有技术还有待于改进和发展。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述缺陷，提供一种巨量转移装置及方法，旨在解决现有技术中无法选择性转移某一部分微元件的问题。

本发明解决技术问题所采用的技术方案如下：

一种巨量转移装置，其中，包括：壳体、设置在所述壳体内的滑板；所述壳体背面设置有用于吸附微元件的吸附孔，所述壳体正面设置有真空孔，所述滑板上设置有第一通孔，所述滑板可在所述壳体内滑动并通过所述第一通孔连通或断开所述吸附孔和所述真空孔。

所述的巨量转移装置，其中，所述吸附孔呈第一点阵列分布。

所述的巨量转移装置，其中，所述真空孔呈第二点阵列或第一线阵列分布；其中，所述第一线阵列中的线与所述吸附孔的连线对应设置。

所述的巨量转移装置，其中，所述第一通孔呈第三点阵列或第二线阵列分布；其中，所述第二线阵列中的线与所述吸附孔的连线对应设置。

所述的巨量转移装置，其中，所述第三点阵列中点的数量小于所述第二点阵列中点的数量，所述第二线阵列中线的数量小于所述第一线阵列中线的数量。

所述的巨量转移装置，其中，所述滑板上设置有第二通孔，所述第二通孔位于相邻两个所述第一通孔的1/4处。

所述的巨量转移装置，其中，所述滑板上设置有第三通孔，所述第三通孔位于相邻两个所述第一通孔的1/2处。

所述的巨量转移装置，其中，所述滑板上设置有第四通孔，所述第四通孔位于相邻两个所述第一通孔的3/4处。

一种巨量转移方法，其中，采用如上述任意一项所述巨量转移装置，所述方法包括步骤：

控制滑板滑动第一距离并连通对应的真空孔和吸附孔，并进行巨量转移；

控制滑板滑动第二距离并连通对应的真空孔和吸附孔，并进行巨量转移；其中，滑板滑动第二距离时连通的真空孔和吸附孔与滑板滑动第一距离时连通的真空孔和吸附孔不同。

所述的巨量转移方法，其中，所述控制滑板滑动第一距离并连通对应的真空孔和吸附孔，包括：

控制滑板滑动第一距离以使第一通孔或第二通孔或第三通孔或第四通孔连通真空孔和吸附孔。

有益效果：通过控制滑板滑动第一距离并连通对应的真空孔和吸附孔，即可进行巨量转移；控制滑板滑动第二距离并连通对应的真空孔和吸附孔，也可以进行巨量转移；其中，滑板滑动第二距离时连通的真空孔和吸附孔与滑板滑动第一距离时连通的真空孔和吸附孔不同。也就是说，通过控制滑板的滑动距离可以选择性连通真空孔和吸附孔。

附图说明