[发明专利]位线驱动器装置有效

专利信息
申请号: 201980000426.8 申请日: 2019-02-27
公开(公告)号: CN110024124B 公开(公告)日: 2020-05-26
发明(设计)人: 陈亮 申请(专利权)人: 长江存储科技有限责任公司
主分类号: H01L27/11529 分类号: H01L27/11529;H01L27/11551;H01L27/11573;H01L27/11578
代理公司: 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 代理人: 林锦辉
地址: 430074 湖北省武汉市东湖*** 国省代码: 湖北;42
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摘要:
搜索关键词: 驱动器 装置
【权利要求书】:

1.一种位线驱动器装置,包括:

半导体衬底;以及

至少一个隔离结构,所述至少一个隔离结构设置在所述半导体衬底中,以便在所述半导体衬底中限定有源区,其中,每个所述有源区在第一方向上延伸,两个所述有源区在第二方向上彼此相邻地设置并通过所述至少一个隔离结构彼此分离,并且每个所述有源区包括:

第一部分和第二部分;以及

第三部分,所述第三部分在所述第一方向上设置在所述第一部分和所述第二部分之间,其中,在所述第二方向上所述第三部分的宽度小于所述第一部分的宽度和所述第二部分的宽度。

2.根据权利要求1所述的位线驱动器装置,其中,所述第一部分的宽度等于所述第二部分的宽度。

3.根据权利要求1所述的位线驱动器装置,其中,所述第二方向上的所述第三部分之间的距离大于所述第二方向上的所述第一部分之间的距离和所述第二方向上的所述第二部分之间的距离。

4.根据权利要求3所述的位线驱动器装置,其中,所述第二方向上的所述第一部分之间的距离等于所述第二方向上的所述第二部分之间的距离。

5.根据权利要求1所述的位线驱动器装置,其中,所述第二方向上的所述第三部分之间的间距等于所述第二方向上的所述第一部分之间的间距和所述第二方向上的所述第二部分之间的间距。

6.根据权利要求1所述的位线驱动器装置,还包括:

栅极结构,所述栅极结构设置在所述半导体衬底上,其中,所述栅极结构在所述第二方向上延伸,并且所述栅极结构部分地与每个所述有源区重叠。

7.根据权利要求6所述的位线驱动器装置,其中,所述栅极结构在所述半导体衬底的厚度方向上部分地与所述第二部分重叠。

8.根据权利要求6所述的位线驱动器装置,其中,所述栅极结构在所述半导体衬底的厚度方向上部分地与所述第三部分重叠。

9.根据权利要求6所述的位线驱动器装置,其中,所述栅极结构在所述半导体衬底的厚度方向上不与所述第一部分重叠。

10.根据权利要求6所述的位线驱动器装置,还包括:

漏极区,所述漏极区设置在所述有源区中,其中,每个所述漏极区的至少一部分设置在所述第一部分中的一个中;以及

源极区,所述源极区设置在所述有源区中,其中,每个所述源极区的至少一部分设置在所述第二部分中的一个中,其中,设置在相同的有源区中的所述漏极区和所述源极区在所述第一方向上设置在所述栅极结构的两个相对侧处。

11.根据权利要求10所述的位线驱动器装置,其中,每个所述漏极区还设置在所述第三部分中。

12.根据权利要求11所述的位线驱动器装置,其中,每个所述漏极区在所述第二方向上的最小长度等于每个所述第三部分的宽度。

13.根据权利要求11所述的位线驱动器装置,其中,每个所述漏极区在所述第二方向上的最大长度等于每个所述第一部分的宽度。

14.根据权利要求11所述的位线驱动器装置,其中,每个所述漏极区在所述第一方向上的长度大于每个所述源极区在所述第一方向上的长度。

15.根据权利要求10所述的位线驱动器装置,其中,每个所述源极区在所述第一方向上的长度等于每个所述第一部分在所述第一方向上的长度。

16.根据权利要求10所述的位线驱动器装置,其中,每个所述源极区在所述第二方向上的长度等于每个所述第一部分在所述第二方向上的长度。

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