[实用新型]压电MEMS麦克风

说明书

本实用新型提供了一种压电MEMS麦克风，包括具有背腔的基底和固定于所述基底的至少一个悬臂梁；所述悬臂梁包括固定于所述基底上的固定部和自所述固定部延伸并悬置于所述背腔的振动部；所述悬臂梁沿振动方向包括至少两层声传感器层以及夹设于相邻两所述声传感器层之间的结构层，所述声传感器层包括第一电极层、第二电极层和设于所述第一电极层和所述第二电极层之间的压电层。本实用新型的通过在声传感器层之间设置结构层，使得悬臂梁的曲率半径更大，在产生相同弯曲角度时将产生更大的应变，从而产生更大的输出。

【技术领域】

本实用新型涉及压电MEMS麦克风领域。

【背景技术】

现有压电麦克风3层(电极/压电材料/电极)或5层(电极/压电材料/电极/压电材料/电极)悬臂梁结构，存在悬臂梁振幅较大，并且压电材料应变不大而导致电信号输出不够的问题。

因此，有必要提供一种解决上述问题的压电麦克风。

【实用新型内容】

本实用新型的目的在于提供一种压电MEMS麦克风，旨在产生更大的应变，从而产生更大的输出。

本实用新型的技术方案如下：

一种压电MEMS麦克风，包括：

具有背腔的基底；

固定于所述基底的至少一个悬臂梁；

所述悬臂梁包括固定于所述基底上的固定部和自所述固定部延伸并悬置于所述背腔的振动部；

所述悬臂梁沿振动方向包括至少两层声传感器层以及夹设于相邻两所述声传感器层之间的结构层，所述声传感器层包括第一电极层、第二电极层和设于所述第一电极层和所述第二电极层之间的压电层。

进一步地，所述结构层的杨氏模量小于所述声传感器层。

进一步地，所述结构层的厚度大于所述第一电极层的厚度和所述压电层的厚度。

进一步地，所述结构层的厚度大于所述声传感器层。

进一步地，所述固定部呈环形结构，至少两个所述振动部沿所述固定部的周向间隔设置，各所述振动部自所述固定部朝所述固定部的中心会聚。

进一步地，还包括悬置于所述背腔的平衡部以及连接在所述平衡部与所述振动部之间的弹性连接件，所述振动部绕设于所述平衡部且位于所述平衡部与所述固定部之间。

进一步地，所述振动部包括与所述固定部固定的延伸部以及绕设在所述延伸部外周并与所述固定部间隔设置的振动臂，所述振动臂包括与所述延伸部远离所述固定部的一侧固定的第一振动臂以及自所述第一振动臂朝所述固定部弯折延伸且位于所述延伸部两侧的翼部，所述翼部与所述延伸部间隔设置。

进一步地，所述延伸部的所述第一电极层与所述振动臂的所述第一电极层相互绝缘。

进一步地，所述弹性连接件包括位于所述平衡部与所述振动部之间的弹力臂以及分别自所述弹力臂的相对两端部弯折延伸至所述平衡部或所述振动部的连接臂，两所述连接臂的延伸方向相反。

进一步地，所述平衡部或所述振动部对应开设有用于避让所述弹性连接件的避让槽。

进一步地，所述平衡部呈多边形，每一所述振动部分别对应连接于所述平衡部的每一侧边。

本实用新型的有益效果在于：通过在声传感器层之间设置结构层，使得悬臂梁的曲率半径更大，在产生相同弯曲角度时将产生更大的应变，从而产生更大的输出。

【附图说明】

图1为本实用新型实施例提供的压电MEMS麦克风的结构示意图；

图2为图1沿A-A的剖面图；