[实用新型]压电MEMS麦克风

权利要求书

1.一种压电MEMS麦克风，其特征在于，包括：

具有背腔的基底；

固定于所述基底的至少一个悬臂梁；

所述悬臂梁包括固定于所述基底上的固定部和自所述固定部延伸并悬置于所述背腔的振动部；

所述悬臂梁沿振动方向包括至少两层声传感器层以及夹设于相邻两所述声传感器层之间的结构层，所述声传感器层包括第一电极层、第二电极层和设于所述第一电极层和所述第二电极层之间的压电层。

2.根据权利要求1所述的压电MEMS麦克风，其特征在于：所述结构层的杨氏模量小于所述声传感器层。

3.根据权利要求1所述的压电MEMS麦克风，其特征在于：所述结构层的厚度大于所述第一电极层的厚度和所述压电层的厚度。

4.根据权利要求3所述的压电MEMS麦克风，其特征在于：所述结构层的厚度大于所述声传感器层。

5.根据权利要求1所述的压电MEMS麦克风，其特征在于：所述固定部呈环形结构，至少两个所述振动部沿所述固定部的周向间隔设置，各所述振动部自所述固定部朝所述固定部的中心会聚。

6.根据权利要求5所述的压电MEMS麦克风，其特征在于：还包括悬置于所述背腔的平衡部以及连接在所述平衡部与所述振动部之间的弹性连接件，所述振动部绕设于所述平衡部且位于所述平衡部与所述固定部之间。

7.根据权利要求6所述的压电MEMS麦克风，其特征在于：所述振动部包括与所述固定部固定的延伸部以及绕设在所述延伸部外周并与所述固定部间隔设置的振动臂，所述振动臂包括与所述延伸部远离所述固定部的一侧固定的第一振动臂以及自所述第一振动臂朝所述固定部弯折延伸且位于所述延伸部两侧的翼部，所述翼部与所述延伸部间隔设置。

8.根据权利要求7所述的压电MEMS麦克风，其特征在于：所述延伸部的所述第一电极层与所述振动臂的所述第一电极层相互绝缘。

9.根据权利要求8所述的压电MEMS麦克风，其特征在于：所述弹性连接件包括位于所述平衡部与所述振动部之间的弹力臂以及分别自所述弹力臂的相对两端部弯折延伸至所述平衡部或所述振动部的连接臂，两所述连接臂的延伸方向相反。

10.根据权利要求9所述的压电MEMS麦克风，其特征在于：所述平衡部或所述振动部对应开设有用于避让所述弹性连接件的避让槽。

11.根据权利要求8所述的压电MEMS麦克风，其特征在于：所述平衡部呈多边形，每一所述振动部分别对应连接于所述平衡部的每一侧边。