[实用新型]一种流水线式等离子体处理装置

说明书

本实用新型涉及一种流水线式等离子体处理装置，包括机架组件、处理组件、传输组件，所述传输组件的数量为一组，每个所述传输组件分别设置在所述机架组件的两端；所述机架组件包括主体框架、外框钣金，所述主体框架设置在所述外框钣金内；所述处理组件设置在所述主体框架上，所述处理组件包括真空腔、电极、抽真空接头；本实用新型解决了现有技术中等离子体处理装置的处理效率低、等离子体处理均匀性有限的缺陷，本实用新型能够实现对产品进行流水线式等离子体处理，提高处理效率，提高等离子体处理的均匀性，从而提高产品的处理质量。

技术领域

本实用新型涉及等离子体设备技术领域，具体地说是一种流水线式等离子体处理装置。

背景技术

等离子体是由大量的带电粒子(包含自由电子、带正电的离子和代负电的离子，也可以存在中性粒子)组成的非束缚态宏观体系，是物质存在的第四态。由于自由电子和正离子的数密度近似相等，等离子体对外整体上呈现电中性。

等离子体技术在众多领域都具有十分显著的优点，在对材料表面进行改性处理方面，具有成本低、无废弃物、无污染等优点；在杀菌消毒方面具有安全性高、无药物残留、灭菌时间短、无环境污染等优点；在对各类污染物(废气、废水)处理方面具有能耗低、效率高、处理流程短、适用范围广等优点。

现有技术中等离子体处理装置一方面在使用过程中存在人工成本高，处理效率低的问题，例如，往往需要人工每次处理前打开腔门，将待处理产品放置到真空腔内，关闭真空腔，然后抽真空，待真空度达到背底真空后，充入工艺气体，达到平衡后，打开电源进行放电，待等离子体处理完成后，关闭电源，关闭充气，关闭真空泵，打开破真空阀，待真空腔内压力达到大气压后，打开真空腔，再人工将处理完成的产品从真空腔中取出，重复上述操作完成一批待处理产品；另一方面，现有等离子体处理装置多采用DBD放电的方式，对产品处理的均匀性有效，容易影响等离子体处理质量。

现有等离子体处理装置多为单独设置，很少与加工流水线配合使用，往往需要将待处理产品集中起来，然后单独运送至等离子处理装置处进行处理，属于离线式操作，导致处理效率低，产品生产加工成本高。

因此，如何提供一种流水线式等离子体处理装置，以实现对产品进行流水线式等离子体处理，提高处理效率，提高等离子体处理的均匀性，从而提高产品的处理质量，是目前本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本申请的目的在于提供一种等离子体处理装置，以实现对产品进行流水线式等离子体处理，提高处理效率，提高等离子体处理的均匀性，从而提高产品的处理质量。

为了达到上述目的，本申请提供如下技术方案。

一种流水线式等离子体处理装置，包括机架组件、处理组件、传输组件，所述传输组件的数量为一组，每个所述传输组件分别设置在所述机架组件的两端；

所述机架组件包括主体框架、外框钣金，所述主体框架设置在所述外框钣金内；

所述处理组件设置在所述主体框架上，所述处理组件包括真空腔、电极、抽真空接头。

优选地，所述真空腔包括腔体、前盖、后盖，所述前盖、后盖分别设置在所述腔体的两端；

所述腔体内设置有滚筒输送组件，所述滚筒输送组件包括第一电机、动力轴、滚筒及架板；所述架板包括第一架板和第二架板，所述滚筒两端分别固定在所述第一架板和第二架板上；

所述动力轴与所述第一电机传动连接，所述动力轴与所述滚筒通过齿轮传动连接。

优选地，所述腔体两端分别有一组导向槽和一组动力组件，每组导向槽和每组动力组件相对应，每组所述导向槽与所述前盖/后盖相配合；

所述前盖/后盖的两端分别设置有滚轮，所述滚轮与所述导向槽相配合，以使得所述前盖/后盖相对所述腔体滑动，实现所述腔体的开启和关闭。