[实用新型]一种流水线式等离子体处理装置

权利要求书

1.一种流水线式等离子体处理装置，其特征在于，包括机架组件(1)、处理组件(2)、传输组件(3)，所述传输组件(3)的数量为一组，每个所述传输组件(3)分别设置在所述机架组件(1)的两端；

所述机架组件(1)包括主体框架(101)、外框钣金(102)，所述主体框架(101)设置在所述外框钣金(102)内；

所述处理组件(2)设置在所述主体框架(101)上，所述处理组件(2)包括真空腔、电极(204)、抽真空接头(205)。

2.根据权利要求1所述的流水线式等离子体处理装置，其特征在于，所述真空腔包括腔体(201)、前盖(202)、后盖(203)，所述前盖(202)、后盖(203)分别设置在所述腔体(201)的两端；

所述腔体(201)内设置有滚筒输送组件(4)，所述滚筒输送组件(4)包括第一电机(401)、动力轴(402)、滚筒(403)及架板(404)；所述架板(404)包括第一架板和第二架板，所述滚筒(403)两端分别固定在所述第一架板和第二架板上；

所述动力轴(402)与所述第一电机(401)传动连接，所述动力轴(402)与所述滚筒(403)通过齿轮传动连接。

3.根据权利要求2所述的流水线式等离子体处理装置，其特征在于，所述腔体(201)两端分别有一组导向槽(206)和一组动力组件，每组导向槽(206)和每组动力组件相对应，每组所述导向槽(206)与所述前盖(202)/后盖(203)相配合；

所述前盖(202)/后盖(203)的两端分别设置有滚轮，所述滚轮与所述导向槽(206)相配合，以使得所述前盖(202)/后盖(203)相对所述腔体(201)滑动，实现所述腔体(201)的开启和关闭。

4.根据权利要求3所述的流水线式等离子体处理装置，其特征在于，所述腔体(201)的两端上均设置有感应头，所述前盖(202)和/或后盖(203)上设置有视窗盖。

5.根据权利要求3所述的流水线式等离子体处理装置，其特征在于，所述动力组件包括油缸(207)和伸缩杆(208)，所述油缸(207)一端固定在所述机架组件(1)上，另一端与所述伸缩杆(208)一端相连接，所述伸缩杆(208)的另一端通过鱼眼接头与所述前盖(202)/后盖(203)固定连接，以使得所述油缸(207)通过调节伸缩杆(208)的伸缩带动前盖(202)/后盖(203)的上下移动。

6.根据权利要求2-5任一所述的流水线式等离子体处理装置，其特征在于，所述电极(204)为U型电极，所述电极(204)与腔体(201)之间设置有绝缘板(209)，所述绝缘板(209)的两端分别通过铝垫块(210)与所述腔体(201)固定；

所述电极(204)上端连接有电极柱(211)，所述电极柱(211)通过电极绝缘套固定在所述腔体(201)上。

7.根据权利要求2-5任一项所述的流水线式等离子体处理装置，其特征在于，所述传输组件(3)包括传输架(301)、驱动组件(302)，所述传输架(301)包括上平台(311)、下平台(312)及支柱(313)，所述驱动组件(302)和调宽组件(303)均设置在所述上平台(311)上。

8.根据权利要求7所述的流水线式等离子体处理装置，其特征在于，所述驱动组件(302)包括第二电机(321)、主动轴(322)、从动轴(323)，所述第二电机(321)通过联轴器与所述主动轴(322)连接，所述主动轴(322)、从动轴(323)的两端分别通过固定支座固定在所述上平台(311)上；

所述主动轴(322)、从动轴(323)的两端分别设置有链轮，所述主动轴(322)和从动轴(323)之间通过链条传动连接。