[实用新型]一种多晶硅还原炉及其视镜输氢孔结构有效
| 申请号： | 201922492274.8 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN211310863U | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 余涛;冉祎;李伟;杜炳胜;汪云清 | 申请（专利权）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03;C01B33/035 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张雪娇 |
| 地址： | 614800 四川省*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 还原 及其 视镜输氢孔 结构 | ||
【权利要求书】：
1.一种视镜输氢孔结构，其特征在于，包括缓冲腔，所述缓冲腔为半圆结构，且该半圆结构的开口朝向底盘，所述缓冲腔的腔壁上设置有用于连通炉筒内部和所述缓冲腔的输氢孔，所述缓冲腔上还设置有用于连通氢气源的进气口。
2.根据权利要求1所述的视镜输氢孔结构，其特征在于，所述输氢孔为沿着所述缓冲腔的半圆结构均匀分布的多个。
3.根据权利要求2所述的视镜输氢孔结构，其特征在于，视镜贯穿所述缓冲腔，多个所述输氢孔围绕所述视镜分布。
4.根据权利要求3所述的视镜输氢孔结构，其特征在于，所述视镜的上半部贯穿所述缓冲腔。
5.根据权利要求4所述的视镜输氢孔结构，其特征在于，所述输氢孔为倾斜孔，且朝向所述视镜的中心轴线处倾斜。
6.根据权利要求1-5任意一项所述的视镜输氢孔结构，其特征在于，所述缓冲腔和所述输氢孔与炉筒一体化铸造成型。
7.一种多晶硅还原炉，包括视镜输氢孔结构，其特征在于，所述视镜输氢孔结构为如权利要求1-6任意一项所述的视镜输氢孔结构。
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