[实用新型]气体激光器用气体纯化装置

说明书

本实用新型公开了一种气体激光器用气体纯化装置，包括玻璃钛泵和玻璃弹簧；所述玻璃钛泵包括玻璃基壳，在所述玻璃基壳内设置有螺旋状的钛丝，所述钛丝的两端固定连接有镍带，所述镍带上分别焊接有钨杆电极，两端的钨杆电极从所述玻璃基壳内伸出通过导线与高压电源进行电性连接；所述玻璃弹簧的一端与玻璃钛泵相连通，另一端与谐振腔相连接，所述谐振腔与整谐振腔专用电源电性连接。本实用新型采用小型的玻璃钛泵做为真空泵源，在玻璃钛泵的输出管道连接有玻璃弹簧，通过施加高压电的方式实现玻璃弹簧辉光放电和钛蒸发，可以有效抽除谐振腔和玻璃弹簧释放出的杂气，避免谐振腔内部污染。

技术领域

本实用新型涉及气体激光器总装技术领域，具体涉及一种气体激光器用气体纯化装置。

背景技术

气体激光器谐振腔基壳的内表面洁净度、增益气体纯度是影响气体激光器寿命的重要因素，其中气体激光器的总装充排气工艺过程是激光器谐振腔封离前引入污染的关键环节，为了保证谐振腔内部质量，设计一种气体激光器充排气纯化装置十分必要。

气体激光器在装配过程中存在多次充气、排气的过程。高精度气体激光器对谐振腔真空度要求极为苛刻，目前常用的气体激光器真空系统可抽至 10^-7Pa，标准大气压为10⁵Pa，谐振腔充排气过程最大气压差数量级为10¹²，如此大的气压冲击不可避免的引入污染。

目前，由于真空系统泵源一般距离谐振腔较远，由于管道流阻大的原因，谐振腔末端真空度一般要比泵源极限真空度低2-3个数量级。在真空条件下，由分子动理论可知，超高真空条件下分子自由程远大于分子直径，气体宏观紊流效应明显。因此，在谐振腔长时间辉光放电老化的过程中释放的杂气无法及时有效的抽除，一旦谐振腔基壳或者玻璃管道释放的有机杂气返流至谐振腔，会污染谐振腔导致性能下降甚至报废，因此有必要在谐振腔末端增加某种泵源来提升谐振腔末端真空度，从而快速有效的将超高真空条件下谐振腔缓慢释放的杂气抽除。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中存在的技术问题，提供一种气体激光器用气体纯化装置，该装置可以有效抽除谐振腔和玻璃弹簧释放出的杂气，避免谐振腔内部污染。

本实用新型解决上述技术问题所采用的技术方案如下：

一种气体激光器用气体纯化装置，包括玻璃钛泵和玻璃弹簧；

所述玻璃钛泵包括玻璃基壳，在所述玻璃基壳内设置有螺旋状的钛丝，所述钛丝的两端固定连接有镍带，所述镍带上分别焊接有钨杆电极，两端的钨杆电极从所述玻璃基壳内伸出通过导线与高压电源进行电性连接；

所述玻璃弹簧的一端与玻璃钛泵相连通，另一端与谐振腔相连接，所述谐振腔与整谐振腔专用电源电性连接。

作为本实施例的优选，所述玻璃基壳由30*120mm的DM308玻璃构成。

作为本实施例的优选，所述玻璃弹簧由DM308电真空玻璃高温绕制，所述玻璃钛泵和玻璃弹簧烧结连通在一起。

作为本实施例的优选，所述玻璃弹簧的末端与谐振腔气密烧结。

作为本实施例的优选，在所述玻璃钛泵的底部设置有真空台，所述真空台与玻璃钛泵烧结在一起。

本实用新型具有以下有益效果：

(1)本实用新型所述的气体激光器用气体纯化装置，采用小型的玻璃钛泵做为真空泵源，在玻璃钛泵的输出管道连接有玻璃弹簧，通过施加高压电的方式实现玻璃弹簧辉光放电和钛蒸发，可以有效抽除谐振腔和玻璃弹簧释放出的杂气，避免谐振腔内部污染。

(2)本实用新型所述的气体激光器用气体纯化装置，可以有效防止气体激光器谐振腔由于充排气工艺带来的污染，并对充入的增益气体有效提纯。