[实用新型]气体激光器用气体纯化装置

权利要求书

1.一种气体激光器用气体纯化装置，其特征在于：包括玻璃钛泵(1)和玻璃弹簧(2)；

所述玻璃钛泵(1)包括玻璃基壳(5)，在所述玻璃基壳(5)内设置有螺旋状的钛丝(8)，所述钛丝(8)的两端固定连接有镍带(6)，所述镍带(6)上分别焊接有钨杆电极(7)，两端的钨杆电极(7)从所述玻璃基壳(5)内伸出通过导线与高压电源(9)进行电性连接；

所述玻璃弹簧(2)的一端与玻璃钛泵(1)相连通，另一端与谐振腔(4)相连接，所述谐振腔(4)与整谐振腔专用电源(10)电性连接。

2.根据权利要求1所述的气体激光器用气体纯化装置，其特征在于：所述玻璃基壳(5)由30*120mm的DM308玻璃构成。

3.根据权利要求2所述的气体激光器用气体纯化装置，其特征在于：所述玻璃弹簧(2)由DM308电真空玻璃高温绕制，所述玻璃钛泵(1)和玻璃弹簧(2)烧结连通在一起。

4.根据权利要求3所述的气体激光器用气体纯化装置，其特征在于：所述玻璃弹簧(2)的末端与谐振腔(4)气密烧结。

5.根据权利要求1至4任一项所述的气体激光器用气体纯化装置，其特征在于：在所述玻璃钛泵(1)的底部设置有真空台(3)，所述真空台(3)与玻璃钛泵(1)烧结在一起。