[实用新型]单机形式硅棒量测机

权利要求书

1.一种单机形式硅棒量测机，其特征在于，包括机架，所述机架上安装上下料机构、硅棒自动移载平台、三轴移栽机械臂、检测激光机、扫码枪和对中传感器，所述硅棒自动移栽平台上安装硅棒支撑治具，所述检测激光机安装在三轴移栽机械臂上，所述扫码枪设置于上下料机构的一端，所述对中传感器正对上下料机构设置，所述硅棒支撑治具与上下料机构平行设置。

2.根据权利要求1所述的单机形式硅棒量测机，其特征在于，所述上下料机构包括辅助货叉和顶升气缸，所述辅助货叉底部安装在顶升气缸的活塞杆上，所述辅助货叉的外侧设置定位板。

3.根据权利要求2所述的单机形式硅棒量测机，其特征在于，所述硅棒支撑治具包括支撑板和若干呈阵列排列的支撑柱，所述支撑板安装在硅棒自动移载平台上，两个横向相邻的所述支撑柱之间的空隙用于插入辅助货叉。

4.根据权利要求1所述的单机形式硅棒量测机，其特征在于，所述三轴移栽机械臂包括两个对称设置在硅棒支撑治具两端的支撑立架，所述支撑立架内侧均安装旋转板，所述旋转板内侧安装横梁，所述横梁上滑动安装滑块，所述滑块上滑动安装安装板，所述检测激光机安装在安装板上。

5.根据权利要求2所述的单机形式硅棒量测机，其特征在于，还包括中控机，所述检测激光机、扫码枪、对中传感器、顶升气缸、硅棒自动移载平台均与中控机电连接。