[实用新型]一种晶圆退火托盘

权利要求书

1.一种晶圆退火托盘，包括基座（100），其特征在于：所述基座（100）顶面呈正方形且其顶面开有呈圆形截面的容置槽（110），其中，所述基座（100）四侧面均成型有与容置槽（110）相通的侧槽（120），所述容置槽（110）底面上开有多个呈均匀布置的安装孔（130）；还包括有多种长度规格的若干个支撑柱（140），每个所述支撑柱（140）可安装至任意一个安装孔（130）中并且选择同规格的多个支撑柱（140）安装至容置槽（110）底面上，以使多个支撑柱（140）的顶面构成用于承载支撑晶圆的承载水平面，并且所述承载水平面至基座（100）顶面之间的高度与待放置晶圆的厚度的相吻合。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆退火托盘，其特征在于：每个支撑柱（140）的底端部成型有与安装孔（130）相螺纹配合的外螺牙。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆退火托盘，其特征在于：每个所述支撑柱（140）顶端套设有支撑帽（150），其中，所述支撑帽（150）为软质的耐高温材料。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆退火托盘，其特征在于：所述支撑柱（140）顶端成型有环形布置的凸起部，其中，所述支撑帽（150）包裹住凸起部。