[实用新型]对半导体设备多路循环液的高精度温调装置

权利要求书

1.一种对半导体设备多路循环液的高精度温调装置，其特征在于，包括柜体及设置于柜体内部的控制柜、液体循环装置，所述控制柜连接液体循环装置的控制端；

所述液体循环装置包括循环组件、出水组件、进水组件、冷水组件、过滤组件；

所述循环组件包括水循环箱、循环泵、三通阀；所述水循环箱上设有浮球液位开关、电热管、四氟管、水阻值传感器、压力传感器、温度传感器，所述水循环箱还与排液阀连接，所述循环泵设置于水循环箱上方，且所述循环泵的出口处设有三通阀，且通过三通阀与出水组件和过滤组件连接；

所述出水组件包括与三通阀连接的出水管道、与出水管道连接的多路出水快插接头，所述出水管道上还设有出水温度传感器，每路出水快插接头上设有出水回路阀和出水回路单向阀，所述水循环箱还通过换热器与进水组件、冷水组件连接；

所述进水组件包括与换热器连接的进水管道、与进水管道连接的多路进水快插接头，每路进水快插接头上设有进水回路阀；

所述冷水组件包括冷水进水接头、旁通管道、冷水出水接头，所述冷水进水接头与冷水出水接头都与所述换热器连接，所述旁通管道连接冷水进水接头和冷水出水接头；

所述控制柜包括电源组件、控制器组件、通讯组件，所述电源组件与控制器组件电性连接，所述控制器组件与通讯组件电性连接。

2.如权利要求1所述的对半导体设备多路循环液的高精度温调装置，其特征在于，所述过滤组件包括第一过滤器、第二过滤器、过滤器阀门，所述三通阀通过过滤器阀门分别与第一过滤器的输入端、第二过滤器的输入端连接，所述第一过滤器的输出端、第二过滤器的输出端都与所述水循环箱连接。

3.如权利要求2所述的对半导体设备多路循环液的高精度温调装置，其特征在于，所述第一过滤器、第二过滤器都通过绑带固定于柜体，所述第一过滤器、第二过滤器上都设有手阀。

4.如权利要求1所述的对半导体设备多路循环液的高精度温调装置，其特征在于，所述电源组件至少包括控制变压器、开关电源、变频器、滤波器、断路器、电流感应开关、接触器、航空插头；所述控制变压器、开关电源、变频器、滤波器、电流感应开关都固定与柜体内部，所述航空插头通过航空插头底座固定于柜体侧面，所述断路器、接触器通过连接模块固定于柜体内部。

5.如权利要求1或4所述的对半导体设备多路循环液的高精度温调装置，其特征在于，所述电源组件还包括急停按钮辅助触点，所述急停按钮辅助触点设置于柜体内部，且与柜体外部的急停按钮连接，所述急停按钮外部设有急停按钮保护罩。

6.如权利要求1所述的对半导体设备多路循环液的高精度温调装置，其特征在于，所述控制器组件包括CPU、DI控制器、DI/DO模块、AI/AQ模块、热电阻模块、晶体管输出板、继电器模块、显示屏；所述CPU、DI控制器、DI/DO模块、AI/AQ模块、热电阻模块、晶体管输出板都固定与柜体内部，且继电器模块通过继电器插座固定，所述显示屏安装在柜体外部，所述CPU分别与DI控制器、DI/DO模块、AI/AQ模块、热电阻模块、晶体管输出板、继电器模块、显示屏电性连接。

7.如权利要求1所述的对半导体设备多路循环液的高精度温调装置，其特征在于，所述通讯组件包括通讯插针连接器、连接信号线，所述通讯插针连接器与连接信号线连接。

8.如权利要求1所述的对半导体设备多路循环液的高精度温调装置，其特征在于，所述柜体底部设有底座，所述底座下方设有脚轮、地脚，所述排液阀安装于底座下部，所述底座上还安装漏液开关。

9.如权利要求1所述的对半导体设备多路循环液的高精度温调装置，其特征在于，所述出水快插接头上的出水回路阀的两侧设有对丝。

10.如权利要求1所述的对半导体设备多路循环液的高精度温调装置，其特征在于，所述冷水进水接头与冷水阀连接。