[实用新型]一种提高晶体生长速度的风冷管装置有效

专利信息
申请号: 201922467269.1 申请日: 2019-12-31
公开(公告)号: CN211595842U 公开(公告)日: 2020-09-29
发明(设计)人: 廖永建;张福亮;周里华 申请(专利权)人: 惠磊光电科技(上海)有限公司
主分类号: C30B11/00 分类号: C30B11/00
代理公司: 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 代理人: 安曼
地址: 201801 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 提高 晶体生长 速度 风冷 装置
【权利要求书】:

1.一种提高晶体生长速度的风冷管装置,包括发热筒体(1),其特征在于:所述发热筒体(1)内设置有隔热层(2),且发热筒体(1)内设置有坩埚本体(3),所述隔热层(2)底部位于发热筒体(1)内滑动安装有管道(4),所述管道(4)呈螺旋形环结构设置,且管道(4)一端设置有冷气机(5),所述冷气机(5)的出风口和管道(4)一端通过钢丝软管(6)固定连接,所述管道(4)表面固定安装有四组滑块(7),其中一组所述滑块(7)贯穿于发热筒体(1)内壁且延伸至发热筒体(1)外部;

所述滑块(7)位于发热筒体(1)外部一侧设置有驱动组件(8),所述驱动组件(8)包括丝杆(801),所述丝杆(801)转动安装于滑块(7)内,且丝杆(801)一端固定安装有电机(802),所述电机(802)固定安装于发热筒体(1)外壁一侧;

所述隔热层(2)底部对称安装有光电开关(9),所述光电开关(9)和冷气机(5)电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种提高晶体生长速度的风冷管装置,其特征在于:所述坩埚本体(3)底部设置有支撑柱(10)。

3.根据权利要求1所述的一种提高晶体生长速度的风冷管装置,其特征在于:所述发热筒体(1)内壁对称设置有滑槽(101),所述滑块(7)和滑槽(101)间隙配合。

4.根据权利要求1所述的一种提高晶体生长速度的风冷管装置,其特征在于:所述丝杆(801)两端均通过带座轴承固定安装于发热筒体(1)外壁一侧,所述丝杆(801)表面螺接有螺套(803),所述螺套(803)和滑块(7)转动连接。

5.根据权利要求1所述的一种提高晶体生长速度的风冷管装置,其特征在于:所述发热筒体(1)一侧位于滑块(7)贯穿位置开设有槽口(11),所述槽口(11)和滑块(7)之间均固定安装有风琴板(12)。

6.根据权利要求1所述的一种提高晶体生长速度的风冷管装置,其特征在于:所述光电开关(9)和隔热层(2)之间固定连接有定位板(13),所述光电开关(9)和定位板(13)螺纹连接。

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