[实用新型]一种晶圆动态测试治具

说明书

本实用新型公开了一种晶圆动态测试治具，包括测试台、吸盘座、移动槽、导块、定位柱、气缸、推板、斜板、复位弹簧、活塞头、推杆、活塞筒和连块，所述测试台顶面等距安装有吸盘座，且吸盘座底口连接固定有活塞筒，所述测试台内部位于吸盘座对应位置安装有气缸，且气缸输出端固定有推杆，所述活塞筒内配合设有活塞头，且推杆与活塞头固定连接，所述测试台表面位于吸盘座侧边对称开设有四个移动槽，且移动槽内滑动卡接有导块，此晶圆动态测试治具通过气缸的驱动，配合斜面推动使定位柱推动晶圆聚中，实现精准放置，配合活塞头的收缩使吸盘座对晶圆稳定吸附固定，装置结构简单，晶圆定位精确稳定，提高晶圆检测的稳定性。

技术领域

本实用新型涉及晶圆侧视治具技术领域，具体为一种晶圆动态测试治具。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。

晶圆生产完成后需要对其进行动态测试，测试过程中晶圆的定位是最为基本的要求，但是现在的晶圆动态测试治具对于晶圆的精准定位固定不够便捷，而且操作复杂，为此，我们提出一种晶圆动态测试治具。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种晶圆动态测试治具，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆动态测试治具，包括测试台、吸盘座、移动槽、导块、定位柱、气缸、推板、斜板、复位弹簧、活塞头、推杆、活塞筒和连块，所述测试台顶面等距安装有吸盘座，且吸盘座底口连接固定有活塞筒，所述测试台内部位于吸盘座对应位置安装有气缸，且气缸输出端固定有推杆，所述活塞筒内配合设有活塞头，且推杆与活塞头固定连接，所述测试台表面位于吸盘座侧边对称开设有四个移动槽，且移动槽内滑动卡接有导块，所述导块顶面固定有定位柱，所述导块底面固定有连块，且连块通过复位弹簧与测试台内壁弹性连接，所述连块靠近气缸一侧固定有斜板，所述气缸输出端固定有与斜板底面贴合的推板。

优选的，所述吸盘座表面包裹固定有乳胶层。

优选的，所述定位柱外壁转动安装有橡胶筒。

优选的，所述推板表面转动安装有滚轮，且滚轮与斜板滚动接触。

优选的，所述活塞头采用橡胶材料制成，且活塞头呈多层叠加结构。

优选的，所述推板、斜板和活塞筒均采用不锈钢材料制成。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：晶圆检测时放置在吸盘座顶部，开启气缸推动推板上移，通过推板与斜板的贴合推动，使斜板带动连块克服复位弹簧的弹力向中心聚拢，从而使导块带动定位柱沿着移动槽向吸盘座滑动，推动晶圆与吸盘座精准对齐，然后气缸收缩，通过复位弹簧的弹力使导块带动定位柱复位，气缸收缩过程中，推杆拉动活塞头下移，使吸盘座对晶圆产生吸力将晶圆稳定吸附固定，此晶圆动态测试治具通过气缸的驱动，配合斜面推动使定位柱推动晶圆聚中，实现精准放置，配合活塞头的收缩使吸盘座对晶圆稳定吸附固定，装置结构简单，晶圆定位精确稳定，提高晶圆检测的稳定性。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型导块驱动结构示意图；

图3为本实用新型橡胶筒安装结构示意图。

图中：1、测试台；2、吸盘座；3、移动槽；4、导块；5、定位柱；6、气缸；7、推板；8、斜板；9、复位弹簧；10、活塞头；11、推杆；12、滚轮；13、活塞筒；14、橡胶筒；15、连块。

具体实施方式