[实用新型]一种晶圆动态测试治具

权利要求书

1.一种晶圆动态测试治具，包括测试台（1）、吸盘座（2）、移动槽（3）、导块（4）、定位柱（5）、气缸（6）、推板（7）、斜板（8）、复位弹簧（9）、活塞头（10）、推杆（11）、活塞筒（13）和连块（15），其特征在于：所述测试台（1）顶面等距安装有吸盘座（2），且吸盘座（2）底口连接固定有活塞筒（13），所述测试台（1）内部位于吸盘座（2）对应位置安装有气缸（6），且气缸（6）输出端固定有推杆（11），所述活塞筒（13）内配合设有活塞头（10），且推杆（11）与活塞头（10）固定连接，所述测试台（1）表面位于吸盘座（2）侧边对称开设有四个移动槽（3），且移动槽（3）内滑动卡接有导块（4），所述导块（4）顶面固定有定位柱（5），所述导块（4）底面固定有连块（15），且连块（15）通过复位弹簧（9）与测试台（1）内壁弹性连接，所述连块（15）靠近气缸（6）一侧固定有斜板（8），所述气缸（6）输出端固定有与斜板（8）底面贴合的推板（7）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆动态测试治具，其特征在于：所述吸盘座（2）表面包裹固定有乳胶层。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆动态测试治具，其特征在于：所述定位柱（5）外壁转动安装有橡胶筒（14）。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆动态测试治具，其特征在于：所述推板（7）表面转动安装有滚轮（12），且滚轮（12）与斜板（8）滚动接触。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆动态测试治具，其特征在于：所述活塞头（10）采用橡胶材料制成，且活塞头（10）呈多层叠加结构。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆动态测试治具，其特征在于：所述推板（7）、斜板（8）和活塞筒（13）均采用不锈钢材料制成。