[实用新型]一种固晶夹具有效
| 申请号: | 201922418547.4 | 申请日: | 2019-12-27 |
| 公开(公告)号: | CN211088240U | 公开(公告)日: | 2020-07-24 |
| 发明(设计)人: | 龚文;龚楷 | 申请(专利权)人: | 苏州晶台光电有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/687 | 分类号: | H01L21/687;H01L33/48 |
| 代理公司: | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人: | 陈伟斌 |
| 地址: | 215699 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 夹具 | ||
1.一种固晶夹具,其特征在于,包括两个侧板及置于两个所述侧板之间的多个连杆,所述侧板由固定板和压板组成,所述固定板通过顶丝固定在固晶机的固晶工作台上,所述固定板的侧边开设有侧槽,所述压板置于所述固定板的顶部并且侧边同样开设有侧槽,两个所述侧槽合并组成安装槽,所述连杆的两端设有与所述安装槽匹配的凸起,所述连杆通过两端的凸起置于所述安装槽内,所述压板通过顶丝固定在所述固定板上用于将所述连杆的两端进行压紧固定在所述安装槽内。
2.根据权利要求1所述的一种固晶夹具,其特征在于,两个所述侧板对称平行设置,多个所述连杆横放在两个所述侧板之间。
3.根据权利要求1所述的一种固晶夹具,其特征在于,所述连杆的长分别为38厘米或60厘米或75厘米,宽为0.5厘米,高为1.5厘米。
4.根据权利要求1所述的一种固晶夹具,其特征在于,所述侧板长19厘米,宽1.5厘米,高5厘米。
5.根据权利要求1所述的一种固晶夹具,其特征在于,所述侧板为不锈钢材质。
6.根据权利要求1所述的一种固晶夹具,其特征在于,所述连杆为不锈钢材质。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





