[实用新型]一种保证大功耗GAN芯片导热层厚度的点胶治具有效
| 申请号: | 201922400765.5 | 申请日: | 2019-12-27 |
| 公开(公告)号: | CN211265416U | 公开(公告)日: | 2020-08-14 |
| 发明(设计)人: | 程浪;卢茂聪;张怡 | 申请(专利权)人: | 广东气派科技有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 深圳市深软翰琪知识产权代理有限公司 44380 | 代理人: | 周玉红 |
| 地址: | 523330 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 保证 功耗 gan 芯片 导热 厚度 点胶治具 | ||
1.一种保证大功耗GAN芯片导热层厚度的点胶治具,其特征在于,包括点胶头,所述点胶头内部设有出胶通道,所述出胶通道的底端设有横截面形状为矩形的定形胶槽,所述定形胶槽的尺寸与所要焊接的芯片尺寸相匹配,所述定形胶槽竖截面为上窄下宽的外喇叭形,所述点胶头底面还设有多条排气通道,所述排气通道与定形胶槽连通。
2.根据权利要求1所述的点胶治具,其特征在于,所述定形胶槽竖截面的外喇叭的开口角度为10-60度。
3.根据权利要求1所述的点胶治具,其特征在于,所述定形胶槽底面的四个侧边均设有多条排气通道,所述排气通道的深度为10-20μm,宽度为50-100μm。
4.根据权利要求1所述的点胶治具,其特征在于,所述点胶头采用玻璃材质,所述定形胶槽内部进行抛光打腊处理。
5.根据权利要求4所述的点胶治具,其特征在于,所述定形胶槽内部棱边均设有倒圆角。
6.根据权利要求1所述的点胶治具,其特征在于,所述点胶治具还设有超声波振动装置,所述超声波振动装置包括振动主轴,所述点胶头固定在振动主轴上,所述点胶头底端振幅为5-10μm。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造





