[实用新型]一种电磁式晶元刷洗机刷洗压力控制系统有效
| 申请号： | 201922389464.7 | 申请日： | 2019-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN211017024U | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 夏俊东;莫科伟;谭金辉;康雷雷 | 申请（专利权）人： | 吉姆西半导体科技（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214194 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电磁式 刷洗 压力 控制系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种电磁式晶元刷洗机刷洗压力控制系统，其特征包括摆动轴(1)和安装在摆动轴(1)顶端的刷臂(5)，刷臂(5)传动连接刷洗本体(8)，刷洗本体(8)下方为真空吸盘(16)，真空吸盘(16)底面连接旋转马达(17)活动端，真空吸盘(16)顶面上放置晶元(15)，控制器(11)分别与刷臂(5)、刷洗本体(8)及旋转马达(17)信号连接。
2.如权利要求1所述的一种电磁式晶元刷洗机刷洗压力控制系统，其特征是所述的刷臂(5)包括安装在刷臂本体上的称重模块(2)、马达(3)、同步带(4)和同步轮(6)，刷洗本体(8)包括旋转轴(7)、电磁线圈(9)、永磁体(12)、浮动体(13)和刷头(14)，旋转轴(7)顶端连接一同步轮(6)，该同步轮(6)通过同步带(4)连接另一同步轮(6)，另一同步轮(6)连接马达(3)输出端，浮动体(13)连接旋转轴(7)底端，刷头(14)通过螺牙连接浮动体(13)，电磁线圈(9)安装在旋转轴(7)外侧，永磁体(12)安装在浮动体(13)上，控制器(11)分别与刷臂(5)中的称重模块(2)和马达(3)、及刷洗本体(8)中的电磁线圈(9)连接。
3.如权利要求2所述的一种电磁式晶元刷洗机刷洗压力控制系统，其特征是所述的浮动体(13)通过花键接头(10)连接旋转轴(7)底端。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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