[实用新型]一种取方阻片装置有效
申请号: | 201922389241.0 | 申请日: | 2019-12-26 |
公开(公告)号: | CN211605171U | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 林佳继;庞爱锁;周欢 | 申请(专利权)人: | 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/08 | 分类号: | H01L31/08;H01L21/677 |
代理公司: | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人: | 聂启新 |
地址: | 214192 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 取方阻片 装置 | ||
本实用新型涉及一种取方阻片装置,包括舟托输送线,其一端与扩散设备对接,另一端与升降缓存输送线对接,所述升降缓存输送线包括间隔平行设置的上层输送线和下层输送线,上层输送线和下层输送线之间通过连接件固定成一体,由升降组件驱动整体进行升降,分别使上层输送线、下层输送线周期性地与所述舟托输送线对接;上层输送线、下层输送线之间沿输送方向间隔安装有多个用于向上层输送线上取放石英舟的石英舟提升组件。本实用新型自动完成去片测方阻的步骤,自动提起石英舟,上下双层输送线实现连续取片功能,效率高。
技术领域
本实用新型涉及光伏硅片和电池端的生产制造设备技术领域,尤其是一种取方阻片装置。
背景技术
光伏电池端扩散设备,水平扩散完的电池片,需要检测电池片的方阻,目前普遍都是在扩散机台的缓存冷却区、自动化卸完电池片后,人工提起石英舟,取电池片去测方阻。人工提取石英舟,容易产生磕碰,而且效率较低。
实用新型内容
本申请人针对上述现有生产技术中的缺点,提供一种结构合理的取方阻片装置,从而自动完成去片测方阻的步骤,自动提起石英舟,上下双层输送线实现连续取片功能,效率高。
本实用新型所采用的技术方案如下:
一种取方阻片装置,包括舟托输送线,其一端与扩散设备对接,另一端与升降缓存输送线对接,所述升降缓存输送线包括间隔平行设置的上层输送线和下层输送线,上层输送线和下层输送线之间通过连接件固定成一体,由升降组件驱动整体进行升降,分别使上层输送线、下层输送线周期性地与所述舟托输送线对接;上层输送线、下层输送线之间沿输送方向间隔安装有多个用于向上层输送线上取放石英舟的石英舟提升组件。
作为上述技术方案的进一步改进:
上层输送线和下层输送线的结构相同,安装结构为:包括上下间隔平行设置的两组第一型材框架,两组第一型材框架侧面通过连接板连接,每组第一型材框架上表面间隔设有同步传动的两组传动皮带,每组第一型材框架一侧均安装有第一驱动电机组件,第一驱动电机组件通过传动轮组件驱动两组传动皮带运行。
沿传动皮带输送方向的第一型材框架上依次安装有第一前舟托到位检测开关、第一后舟托到位检测开关、第一舟托脱离检测开关。
石英舟提升组件的结构为:包括同时安装在两组第一型材框架侧面的底板,所述底板上安装升降气缸和升降导轨,升降导轨上安装沿其滑动的、由升降气缸驱动的顶升杆,顶升杆顶部安装有与其垂直设置的安装板,安装板两侧分别通过夹紧气缸连接有夹爪。
舟托输送线的结构为:包括前后调整支架,所述前后调整支架上表面通过多个高度调整支架安装有第二型材框架,第二型材框架上表面间隔设有同步传动的两组传动皮带,第二型材框架一侧安装有第二驱动电机组件,第二驱动电机组件通过传动轮组件驱动两组传动皮带运行;第二型材框架边缘两侧间隔安装有多组导向挡块。
沿传动皮带输送方向的第二型材框架上依次安装有第二前舟托到位检测开关、第二后舟托到位检测开关、第二舟托脱离检测开关。
升降组件的结构为:包括L形支座,其上安装有L形连接组件,通过L形连接组件与升降缓存输送线连接;L形支座的竖直段上设有竖直导轨;还包括伺服电机,其通过丝杠滑动组件驱动L形连接组件沿所述竖直导轨移动。
本实用新型的有益效果如下:
本实用新型结构紧凑、合理,操作方便,升降缓存输送线设为上下两层,通过升降组件周期性地抬升或下放,使上层输送线、下层输送线分别和舟托输送线周期性的对接,使已扩散的电池片从舟托输送线输送至上层输送线,经过石英舟提升组件将待检测的电池片取出,检测完成后再放回,然后升降缓存输送线升起,未扩散的电池片由下层输送线输送至舟托输送线,完成后续的扩散作业。本实用新型对接在未扩散、已扩散和待检测工位之间,实现双向输送,大大提高了输送效率。
附图说明
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的