[实用新型]一种取方阻片装置有效
申请号: | 201922389241.0 | 申请日: | 2019-12-26 |
公开(公告)号: | CN211605171U | 公开(公告)日: | 2020-09-29 |
发明(设计)人: | 林佳继;庞爱锁;周欢 | 申请(专利权)人: | 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/08 | 分类号: | H01L31/08;H01L21/677 |
代理公司: | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人: | 聂启新 |
地址: | 214192 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 取方阻片 装置 | ||
1.一种取方阻片装置,其特征在于:包括舟托输送线(5),其一端与扩散设备对接,另一端与升降缓存输送线对接,所述升降缓存输送线包括间隔平行设置的上层输送线(3)和下层输送线(15),上层输送线(3)和下层输送线(15)之间通过连接件固定成一体,由升降组件(20)驱动整体进行升降,分别使上层输送线(3)、下层输送线(15)周期性地与所述舟托输送线(5)对接;上层输送线(3)、下层输送线(15)之间沿输送方向间隔安装有多个用于向上层输送线(3)上取放石英舟的石英舟提升组件(4)。
2.如权利要求1所述的取方阻片装置,其特征在于:上层输送线(3)和下层输送线(15)的结构相同,安装结构为:包括上下间隔平行设置的两组第一型材框架(19),两组第一型材框架(19)侧面通过连接板(14)连接,每组第一型材框架(19)上表面间隔设有同步传动的两组传动皮带,每组第一型材框架(19)一侧均安装有第一驱动电机组件(13),第一驱动电机组件(13)通过传动轮组件驱动两组传动皮带运行。
3.如权利要求2所述的取方阻片装置,其特征在于:沿传动皮带输送方向的第一型材框架(19)上依次安装有第一前舟托到位检测开关(16)、第一后舟托到位检测开关(17)、第一舟托脱离检测开关(18)。
4.如权利要求2所述的取方阻片装置,其特征在于:石英舟提升组件(4)的结构为:包括同时安装在两组第一型材框架(19)侧面的底板(41),所述底板(41)上安装升降气缸(44)和升降导轨(43),升降导轨(43)上安装沿其滑动的、由升降气缸(44)驱动的顶升杆(42),顶升杆(42)顶部安装有与其垂直设置的安装板,安装板两侧分别通过夹紧气缸(45)连接有夹爪(46)。
5.如权利要求2所述的取方阻片装置,其特征在于:舟托输送线(5)的结构为:包括前后调整支架(1),所述前后调整支架(1)上表面通过多个高度调整支架(2)安装有第二型材框架(9),第二型材框架(9)上表面间隔设有同步传动的两组传动皮带,第二型材框架(9)一侧安装有第二驱动电机组件(6),第二驱动电机组件(6)通过传动轮组件驱动两组传动皮带运行;第二型材框架(9)边缘两侧间隔安装有多组导向挡块(8)。
6.如权利要求5所述的取方阻片装置,其特征在于:沿传动皮带输送方向的第二型材框架(9)上依次安装有第二前舟托到位检测开关(11)、第二后舟托到位检测开关(10)、第二舟托脱离检测开关(12)。
7.如权利要求2所述的取方阻片装置,其特征在于:升降组件(20)的结构为:包括L形支座(201),其上安装有L形连接组件(203),通过L形连接组件(203)与升降缓存输送线连接;L形支座(201)的竖直段上设有竖直导轨(202);还包括伺服电机,其通过丝杠(204)滑动组件驱动L形连接组件(203)沿所述竖直导轨(202)移动。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司,未经拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201922389241.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种方便双面刺绣的可翻转活动工作台
- 下一篇:一种电缆加工分线装置
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的