[实用新型]一种取方阻片装置有效

专利信息
申请号: 201922389241.0 申请日: 2019-12-26
公开(公告)号: CN211605171U 公开(公告)日: 2020-09-29
发明(设计)人: 林佳继;庞爱锁;周欢 申请(专利权)人: 拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司
主分类号: H01L31/08 分类号: H01L31/08;H01L21/677
代理公司: 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 代理人: 聂启新
地址: 214192 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 取方阻片 装置
【权利要求书】:

1.一种取方阻片装置,其特征在于:包括舟托输送线(5),其一端与扩散设备对接,另一端与升降缓存输送线对接,所述升降缓存输送线包括间隔平行设置的上层输送线(3)和下层输送线(15),上层输送线(3)和下层输送线(15)之间通过连接件固定成一体,由升降组件(20)驱动整体进行升降,分别使上层输送线(3)、下层输送线(15)周期性地与所述舟托输送线(5)对接;上层输送线(3)、下层输送线(15)之间沿输送方向间隔安装有多个用于向上层输送线(3)上取放石英舟的石英舟提升组件(4)。

2.如权利要求1所述的取方阻片装置,其特征在于:上层输送线(3)和下层输送线(15)的结构相同,安装结构为:包括上下间隔平行设置的两组第一型材框架(19),两组第一型材框架(19)侧面通过连接板(14)连接,每组第一型材框架(19)上表面间隔设有同步传动的两组传动皮带,每组第一型材框架(19)一侧均安装有第一驱动电机组件(13),第一驱动电机组件(13)通过传动轮组件驱动两组传动皮带运行。

3.如权利要求2所述的取方阻片装置,其特征在于:沿传动皮带输送方向的第一型材框架(19)上依次安装有第一前舟托到位检测开关(16)、第一后舟托到位检测开关(17)、第一舟托脱离检测开关(18)。

4.如权利要求2所述的取方阻片装置,其特征在于:石英舟提升组件(4)的结构为:包括同时安装在两组第一型材框架(19)侧面的底板(41),所述底板(41)上安装升降气缸(44)和升降导轨(43),升降导轨(43)上安装沿其滑动的、由升降气缸(44)驱动的顶升杆(42),顶升杆(42)顶部安装有与其垂直设置的安装板,安装板两侧分别通过夹紧气缸(45)连接有夹爪(46)。

5.如权利要求2所述的取方阻片装置,其特征在于:舟托输送线(5)的结构为:包括前后调整支架(1),所述前后调整支架(1)上表面通过多个高度调整支架(2)安装有第二型材框架(9),第二型材框架(9)上表面间隔设有同步传动的两组传动皮带,第二型材框架(9)一侧安装有第二驱动电机组件(6),第二驱动电机组件(6)通过传动轮组件驱动两组传动皮带运行;第二型材框架(9)边缘两侧间隔安装有多组导向挡块(8)。

6.如权利要求5所述的取方阻片装置,其特征在于:沿传动皮带输送方向的第二型材框架(9)上依次安装有第二前舟托到位检测开关(11)、第二后舟托到位检测开关(10)、第二舟托脱离检测开关(12)。

7.如权利要求2所述的取方阻片装置,其特征在于:升降组件(20)的结构为:包括L形支座(201),其上安装有L形连接组件(203),通过L形连接组件(203)与升降缓存输送线连接;L形支座(201)的竖直段上设有竖直导轨(202);还包括伺服电机,其通过丝杠(204)滑动组件驱动L形连接组件(203)沿所述竖直导轨(202)移动。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司,未经拉普拉斯(无锡)半导体科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201922389241.0/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top