[实用新型]一种离子风枪支架和除静电系统

权利要求书

1.一种离子风枪支架，其特征在于，包括：基板、连接板和固定板；

所述基板，一端与机台连接，固定在机台上；

所述固定板，用于固定离子风枪；

所述连接板，一端与所述基板连接，另一端与所述固定板连接，所述连接板用于通过活动来调整固定板上离子风枪相对于机台的距离和角度。

2.根据权利要求1所述的离子风枪支架，其特征在于，所述基板包括第一长孔和第二长孔，所述第一长孔与所述第二长孔的中心线重合，所述第一长孔和所述第二长孔的长度范围为：15-25mm，所述基板通过所述第一长孔与机台通过螺丝连接，所述基板通过所述第二长孔与所述连接板通过螺丝连接。

3.根据权利要求2所述的离子风枪支架，其特征在于，所述基板沿垂直所述第一长孔或所述第二长孔的中心线方向，对称弯折90度。

4.根据权利要求1所述的离子风枪支架，其特征在于，所述连接板包括第一折弯区，支撑区和第二折弯区；

所述第一折弯区包括第一圆孔，所述第一圆孔直径范围为：3-5mm，所述连接板通过所述第一圆孔与所述基板连接；

所述第二折弯区包括第三长孔和第四长孔，所述第三长孔的中心线与所述第四长孔的中心线平行，且沿垂直于所述第三长孔或所述第四长孔的中心线方向，所述第三长孔与所述第四长孔对齐排列，所述第三长孔和所述第四长孔的长度范围为：15-25mm，所述连接板通过所述第三长孔和所述第四长孔与所述固定板连接。

5.根据权利要求4所述的离子风枪支架，其特征在于，所述连接板的第一折弯区相对于所述支撑区正向折弯90度，所述连接板的第二折弯区相对于所述支撑区反向折弯90度。

6.根据权利要求4所述的离子风枪支架，其特征在于，所述固定板包括固定区和连接区；

所述连接区包括第五长孔和第二圆孔，所述第五长孔的长度小于所述第三长孔或所述第四长孔的长度，所述第二圆孔的直径范围为：3.5-4.5mm，所述第五长孔和所述第二圆孔用于与所述连接板连接；

所述固定区包括第三圆孔，所述第三圆孔直径范围为：3-5mm，所述第三圆孔用于固定离子风枪。

7.根据权利要求6所述的离子风枪支架，其特征在于，在所述固定区与所述连接区交汇处，所述连接区正向弯折90度。

8.根据权利要求2所述的离子风枪支架，其特征在于，所述第一长孔和所述第二长孔为键槽结构，所述第一长孔和所述第二长孔直径范围为：2-3mm。

9.根据权利要求4所述的离子风枪支架，其特征在于，所述第三长孔和所述第四长孔为键槽结构，所述第三长孔和所述第四长孔直径范围为：2-3mm，所述第三长孔和所述第四长孔的中心线相距范围为：16-20mm。

10.一种除静电系统，其特征在于，采用权利要求1-9任意一项所述的离子风枪支架，还包括离子风枪、机台和待加工芯片；

所述离子风枪固定在所述离子风枪支架上，所述离子风枪支架用于改变离子风枪相对于所述机台的角度和距离，所述机台用于放置所述待加工芯片。