[实用新型]一种性能稳定的纳米级位置定位系统

说明书

本实用新型涉及纳米级定位技术领域，且公开了一种性能稳定的纳米级位置定位系统，包括恒温室，所述恒温室内设有粗级定位机构和纳米级定位机构，所述纳米级定位机构包括工作腔壳体，所述工作腔内设有变形体，所述变形体的两侧均固定连接有变形体支撑块，所述变形体支撑块的两侧和变形体的两端均设有隔热板，所述变形体上固定连接有温度感知器，所述变形体的一端固定连接有位移感知器。本实用新型提高了定位系统的稳定性，有效的提高了定位的精确度。

技术领域

本实用新型涉及纳米级定位技术领域，尤其涉及一种性能稳定的纳米级位置定位系统。

背景技术

随着科学技术的快速发展，在超精密加工、纳米技术等领域，迫切需要纳米级位置定位系统。因压电陶瓷具有较好的微位移特性和可控性，故以压电陶瓷为驱动器的基于弹性铰链支撑的微位移定位机构，是当前在微位移定位领域用得最多的一种。

例如中国专利授权号为CN1131124C的专利，公开了纳米级位置定位系统，其特征在于它具有恒温室，在恒温室内设有粗级定位装置和纳米级定位装置，粗级定位装置为滚珠丝杆，纳米级定位装置具有工作腔壳体，在工作腔内设有变形体，变形体两侧设有变形体支撑块，变形体支撑块两侧和变形体两端分别设有隔热板。上述专利中的纳米级位置定位系统存在以下不足：

上述纳米级定位系统的一级定位是通过滚珠丝杠进行定位的，但上述纳米级定位系统的滚珠丝杠结构的限位不足，导致滚珠丝杠驱动的过程中工作腔壳体会发生倾斜，从而影响定位精度，导致定位不准确。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中滚珠丝杠驱动结构的限位不足的问题，而提出的一种性能稳定的纳米级位置定位系统。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种性能稳定的纳米级位置定位系统，包括恒温室，所述恒温室内设有粗级定位机构和纳米级定位机构，所述纳米级定位机构包括工作腔壳体，所述工作腔内设有变形体，所述变形体的两侧均固定连接有变形体支撑块，所述变形体支撑块的两侧和变形体的两端均设有隔热板，所述变形体上固定连接有温度感知器，所述变形体的一端固定连接有位移感知器，所述变形体支撑块上设有两调温管道，所述调温管道的一端设有调温器，所述粗级定位机构包括固定连接在工作腔壳体下侧侧壁的U型板，所述U型板左右两侧的侧壁均开设有螺纹孔，两个所述螺纹孔内螺纹套接有同一根丝杆，所述丝杆的右端通过轴承与恒温室的内壁转动连接，所述恒温室右侧的侧壁开设有转动孔，所述丝杆穿过转动孔，所述丝杆的杆壁通过滚珠轴承与转动孔的孔壁转动连接，所述U型板左右两侧的侧壁均开设有限位孔，两个所述限位孔内活动套接有同一根限位杆，所述限位杆的两端与恒温室左右两侧的内壁固定连接，所述U型板下侧的侧壁固定连接有限位滑块，所述恒温室的内壁开设有与限位滑块相对应的限位滑槽。

优选的，所述丝杆的左端固定连接有转盘，所述转盘左侧的侧壁固定连接有转杆。

优选的，所述工作腔壳体下侧的侧壁对称固定连接有两个U型导向块。

优选的，所述转杆的杆壁固定套设有海绵套。

优选的，所述转动孔的孔壁固定连接有密封圈。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种性能稳定的纳米级位置定位系统，具备以下有益效果：

该性能稳定的纳米级位置定位系统，通过设置的粗级定位机构，使用时，转动丝杆，通过丝杆与螺纹孔之间的螺纹配合，通过限位孔与限位杆相互限位，通过限位滑块与限位滑槽相互限位，能够使工作腔壳体笔直的移动，避免工作腔壳体移动时位置产生偏移，提高了定位系统的稳定性，有效的提高了定位的精确度。

该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本实用新型提高了定位系统的稳定性，有效的提高了定位的精确度。

附图说明