[实用新型]一种性能稳定的纳米级位置定位系统

权利要求书

1.一种性能稳定的纳米级位置定位系统，包括恒温室(1)，所述恒温室(1)内设有粗级定位机构(2)和纳米级定位机构，所述纳米级定位机构包括工作腔壳体，所述工作腔内设有变形体，所述变形体的两侧均固定连接有变形体支撑块，所述变形体支撑块的两侧和变形体的两端均设有隔热板，所述变形体上固定连接有温度感知器，所述变形体的一端固定连接有位移感知器，所述变形体支撑块上设有两调温管道，所述调温管道的一端设有调温器，其特征在于，所述粗级定位机构(2)包括固定连接在工作腔壳体下侧侧壁的U型板(21)，所述U型板(21)左右两侧的侧壁均开设有螺纹孔(22)，两个所述螺纹孔(22)内螺纹套接有同一根丝杆(23)，所述丝杆(23)的右端通过轴承与恒温室(1)的内壁转动连接，所述恒温室(1)右侧的侧壁开设有转动孔(24)，所述丝杆(23)穿过转动孔(24)，所述丝杆(23)的杆壁通过滚珠轴承与转动孔(24)的孔壁转动连接，所述U型板(21)左右两侧的侧壁均开设有限位孔(25)，两个所述限位孔(25)内活动套接有同一根限位杆(26)，所述限位杆(26)的两端与恒温室(1)左右两侧的内壁固定连接，所述U型板(21)下侧的侧壁固定连接有限位滑块(27)，所述恒温室(1)的内壁开设有与限位滑块(27)相对应的限位滑槽(28)。

2.根据权利要求1所述的一种性能稳定的纳米级位置定位系统，其特征在于，所述丝杆(23)的左端固定连接有转盘(3)，所述转盘(3)左侧的侧壁固定连接有转杆(4)。

3.根据权利要求1所述的一种性能稳定的纳米级位置定位系统，其特征在于，所述工作腔壳体下侧的侧壁对称固定连接有两个U型导向块(5)。

4.根据权利要求2所述的一种性能稳定的纳米级位置定位系统，其特征在于，所述转杆(4)的杆壁固定套设有海绵套(6)。

5.根据权利要求1所述的一种性能稳定的纳米级位置定位系统，其特征在于，所述转动孔(24)的孔壁固定连接有密封圈(7)。