[实用新型]一种适用于大尺寸硅片的干花篮装置

权利要求书

1.一种适用于大尺寸硅片的干花篮装置，其特征在于：包括有两片上下间隔分布的挡板（1）和若干根连接两挡板（1）的连接杆（2），还包括有三片竖直固定设置的侧板（3），三片侧板（3）与两片挡板（1）组成无盖长方体结构，所有连接杆（2）均位于三片侧板（3）的外侧，所述无盖长方体结构的开口一侧为无遮挡设置，每片侧板（3）上均设有等间距排布且水平的卡齿（4），卡齿（4）为直条形，相邻卡齿（4）之间形成有卡槽（5），三片侧板（3）上的对应卡齿（4）为等高设置。

2.根据权利要求1所述的适用于大尺寸硅片的干花篮装置，其特征在于：所述卡齿（4）的截面为子弹头形。

3.根据权利要求1或2所述的适用于大尺寸硅片的干花篮装置，其特征在于：每片侧板（3）都与2根连接杆（2）固接。

4.根据权利要求3所述的适用于大尺寸硅片的干花篮装置，其特征在于：两挡板（1）之间还连接有四根单独设置的连接圆杆（21），这四根连接圆杆（21）呈正方形分布。

5.根据权利要求3所述的适用于大尺寸硅片的干花篮装置，其特征在于：两片平行间隔的侧板（3）之间间距为160～230mm。

6.根据权利要求5所述的适用于大尺寸硅片的干花篮装置，其特征在于：三片侧板（3）为相同规格设置，侧板（3）的长为400～550mm，宽为140～210mm。

7.根据权利要求6所述的适用于大尺寸硅片的干花篮装置，其特征在于：卡齿（4）的长为138～208mm，宽为1.8～3mm，高为3～6mm，相邻卡齿的间距为1.5～3mm。