[实用新型]一种芯片加工用刻蚀装置

权利要求书

1.一种芯片加工用刻蚀装置，包括刻蚀箱（1），其特征在于：所述刻蚀箱（1）侧面的底部固定连接有支撑底座（2），且刻蚀箱（1）的顶部固定连接有安装板（3），所述安装板（3）的中部固定套接有电动推杆（4），所述电动推杆（4）的底端固定连接有夹具（5），所述夹具（5）的底端螺纹套接有调节杆（6），所述调节杆（6）的顶端固定连接有固定块（7），所述夹具（5）的内部从上到下分别活动套接有芯片（8）和掩模（9），所述刻蚀箱（1）内腔的一侧固定连接有连接板（10），所述连接板（10）的一侧固定连接有输液套（11），所述输液套（11）的一侧固定连接有进液管（12），所述进液管（12）的外部固定安装有阀门（13），所述输液套（11）的顶部固定连接有喷头（14），所述刻蚀箱（1）的内侧固定连接有承重板（15），所述承重板（15）的顶部固定连接有保护罩（16），所述保护罩（16）的一侧开设有通孔（17），且保护罩（16）的内部固定安装有电阻丝（18），所述刻蚀箱（1）的侧面固定安装有传动电机（19），所述传动电机（19）的输出轴上固定套接有扇叶（20），所述刻蚀箱（1）的底部固定安装有收集漏斗（21），所述收集漏斗（21）的内部固定套接有收集管（22），所述收集管（22）的底端活动套接有收集箱（23），所述收集箱（23）放置在支撑底座（2）的顶部。

2.根据权利要求1所述的芯片加工用刻蚀装置，其特征在于：所述固定块（7）的顶部开设有防滑纹，且固定块（7）的底部与调节杆（6）的顶端相互垂直。

3.根据权利要求1所述的芯片加工用刻蚀装置，其特征在于：所述掩模（9）的顶部和底部分别与芯片（8）的底部和固定块（7）的顶部紧密接触，且掩模（9）的表面开设有模孔。

4.根据权利要求1所述的芯片加工用刻蚀装置，其特征在于：所述喷头（14）的数量为三个，且三个喷头（14）的大小相等，三个所述喷头（14）等距分布在输液套（11）的顶部。

5.根据权利要求1所述的芯片加工用刻蚀装置，其特征在于：所述电阻丝（18）的一端通过导线与市电路电连接，且电阻丝（18）的外部通过固定套与保护罩（16）的内壁固定连接。

6.根据权利要求1所述的芯片加工用刻蚀装置，其特征在于：所述扇叶（20）位于保护罩（16）的内部，且扇叶（20）分布在电阻丝（18）的左侧。