[实用新型]成膜装置

说明书

本实用新型提供一种成膜装置，该成膜装置通过磁铁吸附掩膜而将掩膜固定在基板上，经由所述掩膜对所述基板进行成膜，其特征在于，所述成膜装置具备磁力施加机构，所述磁力施加机构包括：磁轭板；磁铁，所述磁铁安装在所述磁轭板的朝向蒸镀源侧的第一面上，用于隔着所述基板对掩模施加磁力；肋部，所述肋部直接设置在所述磁轭板的与所述第一面相反一侧的第二面上；以及磁场强度调整机构，所述磁场强度调整机构设置在所述磁轭板的所述第二面上，通过对所述磁轭板相对于所述基板的倾斜进行调整来调整磁场强度。

技术领域

本实用新型涉及一种成膜装置，尤其涉及一种成本低廉且能够容易调整磁轭板倾斜的成膜装置。

背景技术

最近，作为平板显示装置，有机EL显示装置备受关注。有机EL显示装置的元件具备在两个相向的电极(阴极、阳极)之间形成有产生发光的有机物层的基本构造。有机EL显示装置元件的有机物层以及电极层以下述方式形成：使通过对设置在成膜装置的腔室的下部的蒸镀源进行加热而蒸发的蒸镀材料通过形成有像素图案的掩模而蒸镀于在腔室上部放置的基板的下表面。

在这样的朝上蒸镀方式的成膜装置的腔室内，基板由基板保持架保持，在基板的上部设置有静电卡盘，通过向静电卡盘施加电压而使基板的上表面吸附于静电卡盘。通过使被静电卡盘吸附的基板相对于掩模在水平方向上相对移动，从而进行对基板和掩模的相对位置进行调节的对准工序。

在将进行了上述对准的基板载置于掩模的上表面的状态下，使磁板从基板的上部下降并使磁板隔着静电卡盘与基板的上表面抵接。在磁板通过隔着基板向掩模施加磁力而使基板和掩模紧贴之前，利用使磁板等在水平方向上移动的对准台对磁板与掩模之间的水平相对位置进行调节。但是，该调节仅是对磁板与掩模在水平方向上的相对位置进行调节，没有考虑磁板相对于基板或掩模的倾斜问题。

另外，近年来，随着有机EL显示装置的大面积化，基板、掩模以及用于向掩模施加磁力的磁板的面积也变大。这就导致安装磁板的磁轭板的面积也变大，而其厚度较薄，因此，磁轭板容易产生弯曲起伏等自身的变形，导致磁场不稳定、吸附性能产生偏差。

为了使磁板能够均匀地向掩模施加磁力，获得良好的基板与掩模之间的紧贴精度，需要使磁板整面平整且相对于基板平行，因此，用于安装磁板的磁轭板也必须整面平整且平行于基板。

为了解决这一问题，提出有如下方案：在磁轭板的安装磁铁的一侧的相反侧设置安装板以用于安装磁轭板，在安装板的上方设置肋结构来加强安装板的强度，在安装板和磁轭板分别设置对应的螺钉孔，通过螺钉将二者彼此固定。另外，在安装板与磁轭板之间还设置有磁轭板倾斜调节螺钉。在安装板设有用于安装该磁轭板倾斜调节螺钉的螺纹孔。将螺钉拧入安装板的螺纹孔并突出抵接于磁轭板，由此调节磁轭板与安装板之间的间隙，进而调节磁轭板相对于基板的倾斜。

通过上述设置，能够以安装板与肋的刚性为基准，通过磁轭板倾斜调节螺钉来修正磁轭板的倾斜以及弯曲起伏等。

但是，由于需要设置安装板及大量的磁轭板倾斜调节螺钉，因此用于调整磁轭板倾斜的结构的部件数量较多，成本较高，并且，需要同时对磁轭板的倾斜及弯曲起伏进行调整，操作工序也变得复杂，作业性变差。

实用新型内容

本实用新型是为了解决上述课题而作出的，其主要目的在于提供一种成本低廉且能够容易调整磁轭板倾斜的成膜装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

一种成膜装置，所述成膜装置通过磁铁吸附掩膜而将掩膜固定在基板上，经由所述掩膜对所述基板进行成膜，其特征在于，

所述成膜装置具备磁力施加机构，所述磁力施加机构包括：

磁轭板；

磁铁，所述磁铁安装在所述磁轭板的朝向蒸镀源侧的第一面上，用于隔着所述基板对掩模施加磁力；