[实用新型]成膜装置

权利要求书

1.一种成膜装置，所述成膜装置通过磁铁吸附掩膜而将掩膜固定在基板上，经由所述掩膜对所述基板进行成膜，其特征在于，

所述成膜装置具备磁力施加机构，所述磁力施加机构包括：

磁轭板；

磁铁，所述磁铁安装在所述磁轭板的朝向蒸镀源侧的第一面上，用于隔着所述基板对掩模施加磁力；

肋部，所述肋部直接设置在所述磁轭板的与所述第一面相反一侧的第二面上；以及

磁场强度调整机构，所述磁场强度调整机构设置在所述磁轭板的所述第二面上，通过对所述磁轭板相对于所述基板的倾斜进行调整来调整磁场强度。

2.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述肋部一体形成于所述磁轭板。

3.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述肋部包括：

第一肋部，所述第一肋部配置在所述磁轭板的长度方向的两端部；以及

第二肋部，所述第二肋部跨越所述磁轭板的中央部地配置在所述第一肋部之间。

4.根据权利要求1所述的成膜装置，其特征在于，

所述磁场强度调整机构是具有螺纹机构的调整区块。

5.根据权利要求4所述的成膜装置，其特征在于，

所述调整区块至少在所述磁轭板的角部设置有四处。

6.根据权利要求4所述的成膜装置，其特征在于，

所述调整区块具备连结构件和用于安装并固定连结构件的连结构件安装部，

通过使所述连结构件旋转来调整所述磁轭板相对于所述基板的倾斜。

7.根据权利要求6所述的成膜装置，其特征在于，

所述连结构件包括螺栓和调整套筒，

所述调整套筒在内部形成有供螺栓穿过的贯通孔，在外周面上形成有用于与悬挂框架的内螺纹接合的外螺纹，并且具有与所述螺栓的头部的下表面抵接的凸缘部。

8.根据权利要求7所述的成膜装置，其特征在于，

在所述连结构件安装部形成有具有供所述螺栓接合的内螺纹部的凸台部，

在所述连结构件安装部的端部设置有贯通孔，通过将螺钉穿过该贯通孔并紧固于所述磁轭板而将所述连结构件安装部固定于所述磁轭板。

9.根据权利要求6～8中任一项所述的成膜装置，其特征在于，

所述成膜装置具备腔室，经由与所述连结构件连结的悬挂框架而将所述磁轭板悬挂于所述腔室内。