[实用新型]一种抗水解LED芯片有效
申请号: | 201922344993.5 | 申请日: | 2019-12-23 |
公开(公告)号: | CN211320131U | 公开(公告)日: | 2020-08-21 |
发明(设计)人: | 崔永进;邓梓阳;秦明惠;庄家铭 | 申请(专利权)人: | 佛山市国星半导体技术有限公司 |
主分类号: | H01L33/44 | 分类号: | H01L33/44;H01L33/32;H01L33/36;H01L33/00 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 胡枫;李素兰 |
地址: | 528200 广东省佛山市南海区狮*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 水解 led 芯片 | ||
本实用新型公开了一种抗水解LED芯片,其包括衬底、若干个发光结构、以及保护层,所述发光结构包括依次设于衬底上的N‑GaN层、有源层和P‑GaN层,还包裸露区域、ITO层、N电极和P电极,本实用新型的隔离槽沿着裸露区域刻蚀至衬底的表面,以便于保护层覆盖在发光结构的表面和侧壁,从而将发光结构的表面和侧壁全部保护起来,有效防止芯片发生水解。
技术领域
本实用新型涉及发光二极管技术领域,尤其涉及一种抗水解芯片。
背景技术
参见图1,现有的LED芯片包括衬底10、发光结构和绝缘层30,所述发光结构包括设于衬底10上的N-GaN层21、设于N-GaN层21上的有源层22和N 电极25、设于有源层22上的P-GaN层23、设于P-GaN层23上的ITO层24、以及设于ITO层24上的P电极26,所述绝缘层30层覆盖发光结构的表面。
现有的LED芯片没有对N-GaN层进行蚀刻以露出衬底,未对外延层(N-GaN层21、有源层22和P-GaN层23的侧壁进行保护,在LED芯片通电使用过程中,侧壁的N-GaN层21因封装所用封装胶气密性较差,环境中的水汽、杂质等物质仍会进入并附着在发光结构的侧壁上,在电场的作用下,发光结构的侧壁会被水解腐蚀,LED芯片失效。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题在于,提供一种抗水解芯片,结构简单,有效防止水解发生,提高芯片的可靠性。
为了解决上述技术问题,本实用新型提供了一种抗水解LED芯片,包括衬底、若干个发光结构、位于发光结构之间的隔离槽、以及保护层,
所述发光结构包括依次设于衬底上的N-GaN层、有源层和P-GaN层,还包裸露区域、ITO层、N电极和P电极,所述裸露区域沿着P-GaN层刻蚀至N-GaN层,以将N-GaN层裸露出来,所述电极设置在裸露出来的N-GaN层上,所述 ITO层设置在P-GaN层上,所述P电极设置在ITO层,
所述隔离槽沿着裸露区域刻蚀至衬底的表面,以将发光结构隔开,
所述保护层覆盖在发光结构和隔离槽的表面和侧壁并延伸到衬底上,所述保护层由若干个周期的Al2O3层和SiO2层组成,所述Al2O3层作为底层,所述SiO2层设置在Al2O3层上,每层Al2O3层的厚度小于每层SiO2层的厚度。
作为上述方案的改进,每层Al2O3层的厚度为每层SiO2层的厚度为 30%~50%。
作为上述方案的改进,所述Al2O3层的总厚度为500~1000埃,所述SiO2层的总厚度为1000~2000埃。
作为上述方案的改进,所述保护层的结构为Al2O3/SiO2/Al2O3/SiO2,每层的厚度依次为300埃、600埃、500埃、1500埃。
作为上述方案的改进,所述发光结构与衬底的夹角为30~70°
实施本实用新型,具有如下有益效果:
本实用新型的隔离槽沿着裸露区域刻蚀至衬底的表面,在不影响芯片出光效率的情况下,将发光结构的侧壁形成一定的倾斜角度,以便于保护层覆盖在发光结构表面和侧壁,从而将发光结构的表面和侧壁全部保护起来,有效防止芯片发生水解。
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