[实用新型]一种半导体温控装置系统

说明书

本实用新型公开了一种半导体温控装置系统，包括制冷系统和循环系统，所述制冷系统包括压缩机、冷凝器、蒸发器和电子膨胀阀一，所述循环系统包括水箱、水泵、负载设备和预冷器，所述制冷系统和循环系统相连，所述预冷器连接电子膨胀阀二并与蒸发器和电子膨胀阀一并联形成制冷支路。在制冷系统和循环系统间加装预冷器，使水进入换热器之前预先降温，避免过大温差对换热器造成的冲击，减缓制冷系统压力变化，使得温度波动减小，抗击负载能力加强，进一步提升换热效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体生产领域，具体涉及一种半导体温控装置系统。

背景技术

在半导体晶圆的制程工艺中要求保持恒定的温度输出，同时对于降温和加载条件下的控温也有很高要求，所以要用温控装置来保持环境温度，只从制冷系统方面难以很好的满足当下主机台的温度要求。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种半导体温控装置系统，以解决现有技术中温控系统降温效果不够好的问题。

所述的一种半导体温控装置系统，包括制冷系统和循环系统，所述制冷系统包括压缩机、冷凝器、蒸发器和电子膨胀阀一，所述循环系统包括水箱、水泵、负载设备和预冷器，所述制冷系统和循环系统相连，所述预冷器连接电子膨胀阀二并与蒸发器和电子膨胀阀一并联形成制冷支路。

优选的，所述水箱的出水口连接水泵，所述水泵的出水口连接负载设备的进水口，所述负载设备的出水口连接预冷器的进水口，所述预冷器的出水口连接蒸发器的进水口，所述蒸发器的出水口连接水箱的进水口，所述预冷器的制冷剂出口连接压缩机的进气口，所述预冷器的制冷剂入口通过电子膨胀阀二连接干燥器。

优选的，所述冷凝器的制冷剂出口连接储液器的入口，所述储液器的出口依次经过干燥器和电子膨胀阀一连接蒸发器的制冷剂入口，所述蒸发器的制冷剂出口连接压缩机的进气口，所述压缩机的出气口连接冷凝器的制冷剂入口。

优选的，所述干燥器与电子膨胀阀一和电子膨胀阀二之间连接有视液镜。

优选的，所述水箱上安装有水位计。

本实用新型的优点在于：在制冷系统和循环系统间加装预冷器，使水进入换热器之前预先降温，避免过大温差对换热器造成的冲击，减缓制冷系统压力变化，使得温度波动减小，抗击负载能力加强，进一步提升换热效率；视液镜可以观察管路中制冷剂的情况；水位计可以观察水箱中的水位，防止水位过高或过低对系统造成影响。

附图说明

图1为本实用新型的系统原理图。

其中，1-压缩机，2-冷凝器，3-蒸发器，4-干燥器，5-储液器，6-视液镜，7-电子膨胀阀一，8-水箱，9-水泵，10-负载设备，11-预冷器，12-电子膨胀阀二，13-水位计。

具体实施方式

下面对照附图，通过对实施例的描述，对本实用新型具体实施方式作进一步详细的说明，以帮助本领域的技术人员对本实用新型的实用新型构思，技术方案有更完整，准确和深入的理解。

如图1所示，一种半导体温控装置系统，包括制冷系统和循环系统，所述制冷系统包括压缩机1、冷凝器2、蒸发器3和电子膨胀阀一7，所述循环系统包括水箱8、水泵9、负载设备10和预冷器11，所述制冷系统和循环系统相连，所述预冷器11连接电子膨胀阀二12并与蒸发器3和电子膨胀阀一7并联形成制冷支路。

所述水箱8的出水口连接水泵9，所述水泵9的出水口连接负载设备10的进水口，所述负载设备10的出水口连接预冷器11的进水口，所述预冷器11的出水口连接蒸发器3的进水口，所述蒸发器3的出水口连接水箱8的进水口，所述预冷器11的制冷剂出口连接压缩机1的进气口，所述预冷器11的制冷剂入口通过电子膨胀阀二12连接干燥器4。