[实用新型]一种半导体温控装置系统有效
申请号: | 201922339832.7 | 申请日: | 2019-12-24 |
公开(公告)号: | CN211372806U | 公开(公告)日: | 2020-08-28 |
发明(设计)人: | 胡文达;曹小康;芮守珍;何茂栋 | 申请(专利权)人: | 北京京仪自动化装备技术有限公司 |
主分类号: | F25B1/00 | 分类号: | F25B1/00;F25B41/06 |
代理公司: | 芜湖思诚知识产权代理有限公司 34138 | 代理人: | 项磊 |
地址: | 100000 北京市大兴区北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 半导体 温控 装置 系统 | ||
1.一种半导体温控装置系统,其特征在于:包括制冷系统和循环系统,所述制冷系统包括压缩机(1)、冷凝器(2)、蒸发器(3)和电子膨胀阀一(7),所述循环系统包括水箱(8)、水泵(9)、负载设备(10)和预冷器(11),所述制冷系统和循环系统相连,所述预冷器(11)连接电子膨胀阀二(12)并与蒸发器(3)和电子膨胀阀一(7)并联形成制冷支路。
2.根据权利要求1所述的一种半导体温控装置系统,其特征在于:所述水箱(8)的出水口连接水泵(9),所述水泵(9)的出水口连接负载设备(10)的进水口,所述负载设备(10)的出水口连接预冷器(11)的进水口,所述预冷器(11)的出水口连接蒸发器(3)的进水口,所述蒸发器(3)的出水口连接水箱(8)的进水口,所述预冷器(11)的制冷剂出口连接压缩机(1)的进气口,所述预冷器(11)的制冷剂入口通过电子膨胀阀二(12)连接干燥器(4)。
3.根据权利要求1所述的一种半导体温控装置系统,其特征在于:所述冷凝器(2)的制冷剂出口连接储液器(5)的入口,所述储液器(5)的出口依次经过干燥器(4)和电子膨胀阀一(7)连接蒸发器(3)的制冷剂入口,所述蒸发器(3)的制冷剂出口连接压缩机(1)的进气口,所述压缩机(1)的出气口连接冷凝器(2)的制冷剂入口。
4.根据权利要求2所述的一种半导体温控装置系统,其特征在于:所述干燥器(4)与电子膨胀阀一(7)和电子膨胀阀二(12)之间连接有视液镜(6)。
5.根据权利要求1所述的一种半导体温控装置系统,其特征在于:所述水箱(8)上安装有水位计(13)。
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