[实用新型]一种开放式晶圆盒用夹具

说明书

本实用新型公开了一种开放式晶圆盒用夹具，包括晶圆盒、盒用夹具，盒用夹具连接外部定位装置，且盒用夹具用于夹紧晶圆盒，晶圆盒用于放置晶圆。盒用夹具包括夹具框架、智能夹爪、到位检测压紧机构、视觉系统，夹具框架用于连接各个部件，智能夹爪可以通过位置和力双重控制，实现对晶圆盒安全夹取。视觉系统可以控制外部定位装置实现对晶圆盒精确的夹取定位。到位检测压紧机构工作工程中可以起到外部定位装置到位停止控制，又可以压紧晶圆盒上边沿，起到安全精确的夹取辅助作用。本实用新型的开放式晶圆盒用夹具无需人手操作，减少的产品损坏，降低了成本，定位精度高，夹取晶圆盒稳定。

技术领域

本实用新型涉及晶圆夹具领域，具体涉及一种开放式晶圆盒用夹具。

背景技术

半导体、光伏、蓝宝石晶圆或硅片或蓝宝石片是一种非常贵重的产品，在运输过程中放入开放式晶圆盒或封闭式晶圆盒中进行运输。其中在开放式晶圆盒是其行业常见物品，在生产过程中大量周转，现在一般由人工搬取，或放入手推车，对其精细附加定位，然后推到机台边上下料，在搬放过程需要非常小心慢拿慢放，对操作人员的素质要求很高，而且效率低下。同时人工拿取有损伤或掉落，会给公司带来极大的效益损失。

近年来，随着工业机器人等智能装备技术的快速发展和劳动力成本的不断上升，行业对自动化生产制造的需求也越来越高。传统的人工生产难于管理，质量和成本的控制太难，开放式晶圆盒搬运周转及上下料的自动化需求日益迫切。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题在于，针对上述问题，提供一种开放式晶圆盒用夹具。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的：一种开放式晶圆盒用夹具，其中：包括晶圆盒、盒用夹具，盒用夹具夹紧晶圆盒；

盒用夹具包括夹具框架、智能夹爪、到位检测压紧机构、视觉系统，智能夹爪顶端连接夹具框架的内顶面，智能夹爪的下端位于夹具框架底面的两侧，两个到位检测压紧机构安装于夹具框架的底面，且到位检测压紧机构位于智能夹爪的内侧，视觉系统安装于夹具框架的侧边；

智能夹爪包括夹爪本体、夹爪手指、夹爪接触块，夹爪本体连接夹具框架的内顶面，夹爪手指安装于夹爪本体底部的齿条上，夹爪接触块安装于夹爪手指上；

到位检测压紧机构包括导向压盖、顶板、弹性检测压块、到位感应器，顶板安装于导向压盖上，弹性检测压块安装于导向压盖与顶板之间的空腔内，所述空腔的底部开设有通孔，弹性检测压块的一端穿过所述通孔，弹性检测压块的另一端弹性接触顶板，到位感应器安装于顶板内，且与弹性检测压块相接触；

视觉系统包括相机、相机连接板、光源，相机连接板连接夹具框架的内顶面，相机、光源连接于相机连接板上。

作为本实用新型的进一步优化方案，弹性检测压块由压块、压缩弹簧、感应柱组成，感应柱的一端安装于压块上，感应柱的另一端与感应器相接触，压缩弹簧设置于压块与顶板之间。

进一步地，压块的中部设有凸出部，所述凸出部的直径大于所述通孔的直径。

进一步地，所述空腔的直径大于等于所述凸出部的直径，且所述空腔的直径大于所述通孔的直径。

作为本实用新型的进一步优化方案，在夹具框架的一侧设有视觉系统防护罩，视觉系统安装于视觉系统防护罩内。

本实用新型的有益效果是：

通过设置到位检测压紧机构，实现对本开放式晶圆盒用夹具位置的定位，且可压紧晶圆盒上边沿，起到安全精确的夹取辅助作用。

通过设置视觉系统，实现对晶圆盒精确的夹取定位，且保证夹取的稳定性。

通过设置压块、压缩弹簧、感应柱、感应器，现在夹取实现对夹取的精确感应与夹取力度的控制。

附图说明