[实用新型]一种开放式晶圆盒用夹具

权利要求书

1.一种开放式晶圆盒用夹具，其特征在于：包括晶圆盒(1)、盒用夹具(2)，盒用夹具(2)夹紧晶圆盒(1)；

盒用夹具(2)包括夹具框架(21)、智能夹爪(22)、到位检测压紧机构(23)、视觉系统(24)，智能夹爪(22)顶端连接夹具框架(21)的内顶面，智能夹爪(22)的下端位于夹具框架(21)底面的两侧，两个到位检测压紧机构(23)安装于夹具框架(21)的底面，且到位检测压紧机构(23)位于智能夹爪(22)的内侧，视觉系统(24)安装于夹具框架(21)的侧边；

智能夹爪(22)包括夹爪本体(221)、夹爪手指(222)、夹爪接触块(223)，夹爪本体(221)连接夹具框架(21)的内顶面，夹爪手指(222)安装于夹爪本体(221)底部的齿条上，夹爪接触块(223)安装于夹爪手指(222)上；

到位检测压紧机构(23)包括导向压盖(231)、顶板(232)、弹性检测压块(233)、到位感应器(234)，顶板(232)安装于导向压盖(231)上，弹性检测压块(233)安装于导向压盖与顶板(232)之间的空腔内，所述空腔的底部开设有通孔，弹性检测压块(233)的一端穿过所述通孔，弹性检测压块(233)的另一端弹性接触顶板(232)，到位感应器(234)安装于顶板(232)内，且与弹性检测压块(233)相接触；

视觉系统(24)包括相机(241)、相机连接板(242)、光源(243)，相机连接板(242)夹具框架(21)的内顶面，相机(241)、光源(243) 连接于相机连接板(242)上。

2.如权利要求1所述的开放式晶圆盒用夹具，其特征在于：弹性检测压块(233)由压块(2331)、压缩弹簧(2332)、感应柱(2333)组成，感应柱(2333)的一端安装于压块(2331)上，感应柱(2333)的另一端与感应器(234)相接触，压缩弹簧(2332)设置于压块(2331)与顶板(232)之间。

3.如权利要求2所述的开放式晶圆盒用夹具，其特征在于：压块(2331)的中部设有凸出部，所述凸出部的直径大于所述通孔的直径。

4.如权利要求3所述的开放式晶圆盒用夹具，其特征在于：所述空腔的直径大于等于所述凸出部的直径，且所述空腔的直径大于所述通孔的直径。

5.如权利要求1所述的开放式晶圆盒用夹具，其特征在于：在夹具框架(21)的一侧设有视觉系统防护罩(25)，视觉系统(24)安装于视觉系统防护罩(25)内。