[实用新型]一种超大容量MO源钢瓶

说明书

本实用新型公开了一种超大容量MO源钢瓶，MO源封装空间的体积不小于15000mL，进气管与出气管相对于钢瓶本体中心线呈左右对称分布；钢瓶本体底部采用弧形曲面钢瓶底部，弧形曲面钢瓶底部固定焊接在与其形状对应配合的钢瓶底座上，进气管的出口和出气管的入口均位于弧形曲面钢瓶底部，在弧形曲面钢瓶底部形成均匀鼓泡对流区域；本实用新型通过采用弧形曲面钢瓶底部结合进气管、出气管的结构设计，可以有效确保MO源的供给饱和度，同时提高MO源的利用率；而且本实用新型结构简单，便于加工成型，非常适合应用于具有MO源封装空间体积大于15000mL的MO源钢瓶中。

技术领域

本实用新型属于MO源封装容器技术领域，具体涉及了一种超大容量MO源钢瓶，非常适合应用于具有MO源封装空间体积大于15000mL的MO源钢瓶中。

背景技术

MO源(Metalorganic Source)是指MOCVD外延技术中作为基本材料使用的高纯金属有机化合物(典型的主要材料包括三甲基镓、三乙基镓、三甲基铟、三乙基铟、三甲基铝等)，在外文文献中，MO源通常也被称为“MOCVD的前体物”，目前被广泛应用于LED外延片制造行业中。

如公开号为CN109852948A的中国发明专利在背景技术中的记载内容，由于MO元需要存储在具有高洁净度以及高度封装效果且同时有惰性气体保护的MO钢瓶供给设备中。如CN109852948A进一步提及，由于MO源在存储罐中的晶型尺寸、堆积度和物料高度等因素均会影响MO源钢瓶的MO源浓度，也可称为MO源供给饱和度，进而严重影响MO源在实施应用时的使用效果。

因此，市场迫切寻求技术方案对以上技术问题进行改进。同时，基于本申请发明人在MO源钢瓶产品领域的多年专注研究以及所累积的开发经验，决定针对各种不同体积规格的MO源钢瓶分别提出对应解决方案，进而改善MO源钢瓶存在的流量饱和度问题。

发明内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种超大容量MO源钢瓶，通过采用弧形曲面钢瓶底部结合进气管、出气管的结构设计，可以有效确保MO源的供给饱和度，同时提高MO源的利用率；而且本实用新型结构简单，便于加工成型，非常适合应用于具有MO源封装空间体积大于15000mL的MO源钢瓶中。

现有技术中的MO源钢瓶均是采用进气口延伸入MO源钢瓶内用于注入载气，同时出气管直接设置在MO源钢瓶的上端部，这通常有利于将鼓泡后形成的MO源饱和蒸汽输出至产线进行应用，然而，申请人发现，该结构当应用于超大容量的MO源钢瓶时，用于MO源钢瓶的容量大，当MO源钢瓶内的MO源余量多时，位于上端部的出气口无法即时快速地接收的到MO源饱和气体，且均匀性无法保证，当MO源钢瓶内的MO源余量少时，位于底部的MO源气体难以拿到饱和状态被输出，造成MO源的利用率较低，因此，本申请人针对性地出了解决方案。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种超大容量MO源钢瓶，包括设有MO源封装空间的钢瓶本体，所述钢瓶本体上端部分别设有与MO源封装空间连通且用于注入载气的进气管和输出MO源气体的出气管，同时进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀，所述MO源封装空间的体积不小于15000mL，所述进气管与所述出气管相对于所述钢瓶本体中心线呈左右对称分布；

所述钢瓶本体底部采用弧形曲面钢瓶底部，弧形曲面钢瓶底部固定焊接在与其形状对应配合的钢瓶底座上，所述进气管的出口和所述出气管的入口均位于所述弧形曲面钢瓶底部，在弧形曲面钢瓶底部形成均匀鼓泡对流区域。

优选地，所述MO源封装空间的体积为20000mL或25000mL。

优选地，所述钢瓶底座外径与所述钢瓶本体外径之间的差值不大于10mm，使得所述MO源钢瓶整体呈圆柱状。