[实用新型]一种超大容量MO源钢瓶

权利要求书

1.一种超大容量MO源钢瓶，包括设有MO源封装空间的钢瓶本体，所述钢瓶本体上端部分别设有与MO源封装空间连通且用于注入载气的进气管和输出MO源气体的出气管，同时进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀，其特征在于，

所述MO源封装空间的体积不小于15000mL，所述进气管与所述出气管相对于所述钢瓶本体中心线呈左右对称分布；

所述钢瓶本体底部采用弧形曲面钢瓶底部，弧形曲面钢瓶底部固定焊接在与其形状对应配合的钢瓶底座上，所述进气管的出口和所述出气管的入口均位于所述弧形曲面钢瓶底部，在弧形曲面钢瓶底部形成均匀鼓泡对流区域。

2.根据权利要求1所述的超大容量MO源钢瓶，其特征在于，所述MO源封装空间的体积为20000mL或25000mL。

3.根据权利要求1所述的超大容量MO源钢瓶，其特征在于，所述钢瓶底座外径与所述钢瓶本体外径之间的差值不大于10mm，使得所述MO源钢瓶整体呈圆柱状。

4.根据权利要求1所述的超大容量MO源钢瓶，其特征在于，位于所述进气管和出气管之间的所述钢瓶本体上端部还设有用于充装MO源的MO源充装口，且所述MO源充装口设有压力传感器接头，用于检测所述MO源封装空间内的MO源流量压力；同时所述MO源充装口的中心轴线与所述弧形曲面钢瓶底部的中心轴线重合。

5.根据权利要求1所述的超大容量MO源钢瓶，其特征在于，所述进气阀中心轴线和所述出气阀中心轴线之间的气阀夹角范围为10-30度。

6.如权利要求1所述的超大容量MO源钢瓶，其特征在于，所述钢瓶本体上端部固定设有位于所述进气阀和出气阀外周的圆弧把手。