[实用新型]一种旋转溅射靶材管口保护装置

说明书

本实用新型公开了一种旋转溅射靶材管口保护装置，管口保护装置包括一用于盖合旋转溅射靶材的管口的环盖，环盖的内侧壁与旋转溅射靶材管口的外侧壁之间设置有紧固结构，环盖通过紧固结构紧固连接于旋转溅射靶材的管口，环盖的外侧朝中心凸出成型有凸肩，凸肩的内侧与旋转溅射靶材的管口面抵顶配合。与现有技术相比，本实用新型通过在旋转溅射靶材的管口安装环抱型的环盖，使旋转溅射靶材在运输过程中，避免旋转溅射靶材管口受到直接碰撞，导致管口以及表面结构受损。

技术领域

本实用新型涉及旋转溅射靶材生产设备技术领域，尤其是涉及一种旋转溅射靶材管口保护装置。

背景技术

在旋转靶材出货前，需要在管口部位开设螺纹，以用作于溅射设备的工装连接。但是，由于在靶材运输过程中，靶材管口部分容易发生磕碰，导致管口以及安装螺纹的损坏，则无法继续正常使用，需要返厂维修，耗时耗力；另外，溅射设备常常需要在无尘车间内进行运作，在不设保护的情况下，管内容易积聚灰尘，污染车间，影响溅射工作的顺利进行，而且旋转靶材的管内难以清洁，所以在管口位置设置阻挡结构尤为重要。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种旋转溅射靶材管口保护装置，避免运输磕碰导致旋转靶材管口的损坏，安装方便，成本低，同时，封盖旋转靶材的管口，避免管内积聚尘埃。

为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种旋转溅射靶材管口保护装置，管口保护装置包括一用于盖合旋转溅射靶材的管口的环盖，环盖的内侧壁与旋转溅射靶材管口的外侧壁之间设置有紧固结构，环盖通过紧固结构紧固连接于旋转溅射靶材的管口，环盖的外侧朝中心凸出成型有凸肩，凸肩的内侧与旋转溅射靶材的管口面抵顶配合。本实用新型通过环盖对旋转溅射靶材的管口进行保护，使旋转溅射靶材在运输过程中，避免旋转溅射靶材管口受到直接碰撞，导致管口以及表面结构受损。

在进一步的技术方案中，紧固结构设置为螺纹连接结构或卡扣结构或咬合结构。

在进一步的技术方案中，环盖的内侧壁成型有内螺纹，旋转溅射靶材管口的外壁成型有外螺纹，环盖的内螺纹与旋转溅射靶材管口的外螺纹螺纹咬合，凸肩的内侧活动抵顶于旋转溅射靶材的管口面。

在进一步的技术方案中，环盖的内侧固定有一质软的保护层，保护层夹设于环盖与旋转溅射靶材管口之间。

在进一步的技术方案中，保护层由硅胶材料制成的薄膜，薄膜胶接于环盖的内侧，薄膜覆盖内螺纹以及凸肩的内侧。该结构通过在环盖内侧设置具有缓冲作用的保护层，使旋转溅射靶材管口的螺纹结构得到柔性保护，避免降低螺纹精度，进一步加强了管口保护装置的保护性能。

在进一步的技术方案中，旋转溅射靶材管口的外壁成型有外螺纹，环盖设置有多个弹性扣脚，各弹性扣脚的端部凸出成型有扣部，各弹性扣脚的扣部分别卡扣连接于旋转溅射靶材管口的外螺纹的螺纹槽。

在进一步的技术方案中，旋转溅射靶材管口的外壁成型有外螺纹，环盖的内侧固定有软胶圈，环盖盖合于旋转溅射靶材的管口，软胶圈的内侧与旋转溅射靶材管口的外壁过盈配合。

在进一步的技术方案中，管口保护装置包括有一用作覆盖旋转溅射靶材的管口的盖板，盖板呈圆片状设置，盖板的直径大于旋转溅射靶材管口的内径，且盖板的直径不大于环盖的内径，盖板嵌入安装于环盖的内侧，盖板的内侧面盖覆于旋转溅射靶材的管口，盖板的外侧边缘与环盖的凸肩限位配合。该结构通过设置在环盖内侧的盖板封堵旋转溅射靶材的管口，避免外部灰尘的侵入，减少旋转溅射靶材内部尘埃的聚积。

在进一步的技术方案中，盖板的内侧面覆盖设置有一质软的保护层，保护层夹设于旋转溅射靶材的管口面与盖板的内侧面之间。

在进一步的技术方案中，环盖的外侧设置有防滑结构，防滑结构包括有多个沿圆周反向均匀分布的凹槽，形成波浪式的环盖表面。